판매용 중고 AXCELIS / FUSION M150PC MicroLite #9162462

AXCELIS/FUSION M150PC MicroLite 노출 장비는 가장 까다로운 생산 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 석판화 옵션입니다. 이 시스템은 운영 석판화를 위한 매우 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. Pascivalines TM/DEC SeriaTM optics를 활용한이 장치의 고급 설계 및 구조는 탁월한 성능, 정확성, 해상도를 제공하며 전례없는 속도와 정확도로 차세대 반도체 구조를 효과적으로 생산할 수 있습니다. 또한, 독점적 인 공기 베어링 스핀들 (spindle) 은 매우 정확한 웨이퍼 처리 및 정렬을 보장하는 반면, SCSI 제어는 엄격한 프로세스 제어를 지원합니다. FUSION M150PC MicroLite의 소형 폼 팩터는 프로덕션 설치 및 통합의 유연성을 제공합니다. 가벼운 무게와 작은 설치 공간으로 인해 리소그래피 스위트 (lithography suite) 와 일반 생산 환경에서 드럼 (drum) 및 큐 (queue) 설정에 이상적입니다. 또한, 우수한 동작 역학은 광범위한 파장과 전력 수준을 가능하게하여 고품질 이미지 (High-Quality Image) 와 낮은 수준의 왜곡을 초래합니다. AXCELIS M150PC MicroLite는 고성능, 고급 옵틱 및 뛰어난 정확도의 독특한 조합을 제공합니다. 사용이 간편한 제어 기능을 통해, 노동 집약적인 청소 주기로 인한 다운타임 없이, 빠르고 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 통합 마이크로프로세서 제어 시스템 모니터링 및 장애 감지 소프트웨어를 통해 가동 시간을 극대화하고 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. M150PC MicroLite의 고급 레이저 구동, 직접 드라이브 설계는 볼륨 생산 어플리케이션에 적합합니다. 모듈식, 고효율, 저전력 광 설계를 활용하여 리소그래피 프로세스 (lithography process) 동안 높은 수준의 정확성을 제공합니다. 또한 낮은 입자 생성과 고해상도 노출을위한 매우 작은 스팟 크기를 제공합니다. AXCELIS/FUSION M150PC MicroLite 의 오픈 아키텍처 소프트웨어를 사용하면 다양한 테스트 및 분석 시스템과 통합할 수 있습니다. 이것은 리소그래피 프로세스의 생산성 및 정확성 향상에 해당합니다. 또한 향상된 운영 프로그램을 통해 이미지 분석 소프트웨어 (예: SEM 또는 LDI) 를 액세스, 저장 및 실행할 수 있습니다. 전반적으로 FUSION M150PC MicroLite는 고급 생산 석판화를위한 효율적이고 안정적인 선택입니다. 매우 최적화되고 비용 효율적이며, 광범위한 리소그래피 (lithography) 프로세스에 대한 정확성과 정확성을 제공합니다. 고급 기능은 대부분의 리소그래피 스위트의 필수 부분입니다.