판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9314174

FUSION ™ AXCELIS/FUSION M 200 PCU 노출 장비는 고급 트랜지스터 기술을 위한 고효율 기판 노출 시스템입니다. 최신 프로세스 기술과 적응성이 높은 기판 처리 플랫폼 (Substrate Handling Platform) 을 결합하여 광범위한 디바이스 구성 프로세스를 처리할 수 있습니다. FUSION M200PCU 장치에는 4 포인트 기판 처리 기능이있는 완전 통합 옵토 기계 시스템이 포함되어 있습니다. 또한 고급 이미징 (Advanced Imaging) 및 정렬 구성 (Alignment Configuration) 을 통해 매우 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 사용자에게 최대 7 가지 기판 원인을 수용 할 수있는 옵션을 제공합니다. 자산은 이중 총 무선 주파수 (RF) 기반 전자 빔 증발에 의존합니다. 이 프로세스는 일관된 레이어 두께와 뛰어난 반복성을 제공합니다. RF 소스는 또한 독성 휘발성 유기 화합물 (VOC) 을 최소화하면서 여전히 훌륭한 결과를 제공합니다. 이 모델은 사용자에게 다양한 이점 (예: 왜곡 없음) 을 제공합니다. 다른 재료의 여러 레이어를 만들 수있는 능력; 다중 축, 동적, 계단 해상도를 포함한 다양한 노출 기술을 제공합니다. 또한 사용자는 노출 매개변수를 사용자 정의하고, 정렬 정확도를 높이고, 기판 및 재료 처리 시간을 줄이고, 열 스트레스를 줄이고, 마스크 오염을 줄일 수 있습니다. 고품질 패턴을 생산할 수있는 견고한 디자인의 AXCELIS M200 PCU는 전계효과 트랜지스터 (FET), 금속-산화물-반도체 (MOS) 장치 및 표면 음향파 (MOS) 와 같은 고급 트랜지스터를 생산하는 등 다양한 기판 및 장치 응용 프로그램을위한 이상적인 기판 노출 장비입니다. 또한 CMP 처리, 유전체 에칭, 게이트 증착, 스페이서 증착, 장벽/라이너 증착 프로세스 등 다양한 증착 작업에 사용할 수 있습니다.