판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9284344

AXCELIS/FUSION M 200 PCU 는 생산성과 운영 처리량을 고려하여 설계한 완전 자동화된 웨이퍼 노출 장비입니다. 이 시스템은 직경 200mm 범위의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 이 장치는 고정밀 X-Y 스테이지 및 모션 컨트롤 머신, 고급 패턴 생성기, 다중 스펙트럼 박스 조명 및 고급 UV 광학으로 구성됩니다. 웨이퍼 스테이지의 해상도는 2.5 나노 미터입니다. 이 정밀도를 사용하면 복잡한 패턴을 빠르고 정확하게 인쇄할 수 있습니다. 이 도구는 생산성을 극대화하는 다양한 기능을 제공합니다. 여기에는 프로텍 PU (Protec PU) 라는 고급 패턴 생성기가 포함되어 있으며, 최대 메모리가 40 메가바이트로 즉석에서 패턴을 생성할 수 있습니다. 에셋은 또한 자동 제로 시프트 (zero shift) 와 최대 270nm의 오버 캔 기능을 통해 안정적인 균일 한 조명을 제공하는 고급 광학 모델을 제공합니다. 이 장비에는 노출 후 자동 웨이퍼 검사를 지원하는 통합 검사 도구 인 아스트라 (Astra) 도 있습니다. 인쇄 된 패턴의 시각화를 위해 Vision Metrology 시스템과 3D 매핑 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 장치는 시간당 최대 1200 개의 웨이퍼 처리량을 가지며, 레이어 복잡도에 따라 시간당 최대 500 개의 패턴을 처리 할 수 있습니다. 이 제품은 최적화 스크립트, 프로세스 레시피, 시뮬레이션 모델을 위한 광범위한 라이브러리와 통합되어 제공됩니다. 마지막으로, 기계는 신뢰성이 높으며, 자체 진단 (self-diagnostics) 과 오류를 방지하는 여러 기능이 포함되어 있습니다. FUSION M200PCU는 웨이퍼 제작에 매우 다양하고 강력한 도구입니다. 유연성, 정확성 및 높은 처리량을 통해 반도체 생산 및 리소그래피 (lithography) 에 적합합니다. 이 툴은 하이엔드 (High-End) 기능과 안정적인 성능을 통해 생산성을 크게 높이고 운영 비용을 대폭 절감할 수 있습니다.