판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9250405
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU는 리소그래피 용 초고해상도 자동 노출 장비입니다. 최고 수준의 정확도, 정밀도, 재현성을 제공하도록 설계된 FUSION M200PCU는 마이크로급 및 나노급 정밀도 구성 요소를 효율적으로 생산할 수 있는 안정적인 도구입니다. 이 시스템에서 제공하는 초고해상도는 특허를 받은 곡면 필드 (curved field) 기술을 탑재한 첨단 프로젝션 렌즈에 의해 가능하다. 이 기술을 통해 AXCELIS M200 PCU 는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에서 다른 평평한 표면 (flat surface) 에 이르기까지 다양한 기판에 패턴이 있는 영역을 정확하게 투영할 수 있습니다. 따라서 이미지는 매번 정확하고 일관성이 보장됩니다. M200PCU의 노출원은 강력한 연속 및 펄스 수은 증기 램프이며, 광대역 (broadband and deep 자외선) 을 생성 할 수 있습니다. AXCELIS M 200 PCU에는 회절 품질 크롬 도금 몰리브덴 기판을 갖춘 정밀 25mm x 50mm 어레이 마스크가 장착되어 있습니다. 이를 통해 무결점 구조를 40 나노 미터 수준으로 투영 할 수 있습니다. 노출 장치에는 또한 정밀한 선형 (linear) 및 회전 축 (rotational axes) 을 사용하여 가장 정확한 기판 관리를 제공하는 최첨단 동작 제어 머신이 있습니다. AXCELIS/FUSION M200 PCU의 추가 기능에는 빠른 초점 최적화, 통합 하향식 균일성 교정, 실시간 기판 온도 모니터링 및 최적화된 용량 균일성을 위한 고급 노출 제어 알고리즘을위한 컴퓨터 제어 자동 초점 도구가 포함됩니다. M200 PCU는 반도체 웨이퍼 처리, 태양전지 제조, 박막 증착, 의료 기기 제조 등 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 견고한 구성과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 까다로운 운영 환경에서 사용하기 쉽고 안정적으로 사용할 수 있습니다. 다양한 고급 기능과 기능을 갖춘 AXCELIS/FUSION M 200PCU 는 고급 석판화 요구 사항에 적합한 경제적인 솔루션을 제공합니다.
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