판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9145259

AXCELIS/FUSION M 200 PCU는 포토리스 코팅 및 베이킹 어플리케이션을 위해 설계된 최고의 노출 장비입니다. 이 시스템은 코팅, 베이킹, 베이킹 후 및 에칭 워크플로에서 일관성을 제공합니다. 첨단 기술은 정확하고 반복 가능한 제어, 생산성 향상, 성능 향상을 보장합니다. 고급 구성 요소에는 웨이퍼 로봇 로더, 플랫폼 장착 컨베이어 유닛, 제어 온도 공기 및 가변 속도 드라이브 모터 (variable speed drive motor) 가 포함됩니다. 웨이퍼 로봇 로더에는 임베디드 비전 머신 (Vision Machine) 이 내장되어 있어 웨이퍼의 슬롯 처리에 정확한 슬롯을 제공합니다. 컨베이어 도구에는 조정 가능한 웹 지그 (web jig) 가 있는데, 이 웹 지그는 최소한의 수동 상호 작용으로 정확한 웨이퍼 투 웨이퍼 (wafer-to-wafer) 전송 및 배치를 가능하게 합니다. 온도 및 습도 컨트롤은 균일 한 온도 및 습도 조건을 보장하여 결함을 줄입니다. 가변 속도 모터는 노출, 베이크, 에치 연산의 정확하고 반복 가능한 제어를 위해 조정 될 수 있습니다. FUSION M200PCU에는 재순환 열 공기 자산이 포함 된 표준 베이킹 오븐이 있습니다. 이 베이킹 오븐은 N7, HMBCD 및 HOLEMASK/SATICIDE 프로세스에 대한 웨이퍼 노출을 지원합니다. 오븐에는 균일성과 최적의 프로세스 성능을 보장하기 위해 최신 도어/프로그램 최적화 (door/program optimization) 컨트롤이 장착되어 있습니다. 이 모델에는 불필요한 가스 축적을 제거하는 배기 플레 넘 (plenum) 도 포함되어 있습니다. 이 장비는 또한 포토 esist를 웨이퍼 기판에 자동으로 증착시키는 가변 높이 필름 코팅 스테이션 (Variable Height Film Coating Station) 을 갖추고 있습니다. 이 관측소 에는 특허 를 받은 공기 원자 측정기 (air atomizer) 기법 이 장착 되어 있는데, 이 기법 은 최적 된 결과 를 거두기 위해 포토레시스트 (photoresist) 필름 의 균일 하고 정확 한 두께 를 코팅 해 준다. 이 시스템은 핫플레이트, 베이크 플레이트 및 UV 노출 작업에 대한 선택적 지원도 제공합니다. AXCELIS M200 PCU 는 고급 기술과 다양한 노출 (exposure) 작업을 지원하는 고효율 성능 향상 장치입니다. 이 머신은 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하며, 운영 효율성, 재생성 향상, 전반적인 뛰어난 성능을 제공합니다.