판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293824586
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU (Product Containment Unit) 는 반도체 생산에 최대의 제약 기능을 제공하도록 설계된 노출 장비입니다. 이 시스템에는 PCU 의 작업 공간을 다른 생산 환경과 분리하는 조절 가능한 고급 (adjustable) 기술 게이트 밸브 (gate valve) 가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 가장 순수 한 "가스 '와 화학 물질 만이 작업 공간 에 존재 하게 되므로, 깨끗 하고 안전 한 작업 환경 을 유지 할 수 있다. FUSION M200PCU 는 고정 격납실, 조정 가능한 시야창, 저열 질량 (low-thermal-mass) 로로 구성되어 있으며, 모두 사용자의 구체적인 요구에 따라 구성됩니다. 조정 가능한 보기 (Adjustable viewing) 창은 장치 내부 작업의 가시성을 높이도록 설계되었습니다. 저열 질량로 (low-thermal-mass furnace) 는 모든 온도 설정에서 일관된 열 성능 및 열 전달 정확도를 보장하도록 설계되었습니다. AXCELIS M200 PCU는 알루미늄 지원 구조로 덮인 쿼츠 넷 (quartz net) 을 사용하여 기질로부터 단파 및 장파 UV 복사 방출을 흡수하여 산화 및 오염으로부터 보호합니다. 석영 그물 (quartz net) 은 또한 중합 과정에서 치료 균일성을 조절하여 고성능 특성을 가진 반도체의 생산을 가능하게한다. M200 PCU는 MEMS (microelectromechanical system) 코팅, 실리콘-옥사이드 및 플라즈마 강화 CVD 및 고 처리량/저류 가스 라인을 포함한 다양한 옵션으로 보완됩니다. MEMS 코팅 박막 리소스는 반도체 생산 과정에서 초박막 (ultra-thin film) 에 대한 세밀한 제어 및 균일성을 보장합니다. 실리콘-옥사이드 및 플라즈마 강화 CVD는 파인 라인 리소그래피 및 우수한 BARC (Bottom Anti-Reflection Coating) 성능 생산을 최적화하는 데 도움이됩니다. AXCELIS M200PCU 는 가장 엄격한 격리 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며 SafeWeb 기술을 기반으로 합니다. 이 소프트웨어 패키지는 무단 액세스 시도, 프로세스 매개변수 조작 (process parameter manipulation) 과 같은 잠재적 위반으로부터 기계를 보호하는 데 사용됩니다. 이는 안전하고 안전한 툴을 보장하는 한편, 운영이 간편하고, 직원을 보호하고, 비용을 최소화하고, 품질을 유지하는 데 도움이 됩니다.
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