판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293824584
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU는 석판 인쇄 응용 프로그램에 뛰어난 해상도를 제공하도록 설계된 고급 노출 장비입니다. 이 시스템은 고급 (Advanced) 유닛 아키텍처와 고급 (Advanced) 이미징 기능을 결합하여 향상된 성능과 생산성을 제공합니다. 이 기계는 소형 구성 요소에서 본격적인 장치 (full-scale device) 에 이르기까지 장치 제조 요구에 이상적입니다. 이 도구에는 두 개의 후면 (Rear-View) 카메라가 장착된 고급 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 가 포함되어 있어 어떠한 각도에서 에셋의 성능도 모니터링할 수 있습니다. 멀티채널 정전식 모니터가 있어 웨이퍼 (Wafer) 처리량을 최적화하고 웨이퍼 품질을 모니터링할 수 있습니다. 100W 전자빔 (electron-beam) 소스는 미세한 패턴화를 위해 작은 영역을 수용하는 반면, 50keV 작동 전압 범위는 장치 및 기능 크기 제어에 더 많은 유연성을 제공합니다. 이 모델은 다양한 포토리스 스트 (photoresist) 기능을 노출시킬 수 있으며, 고정밀 초점 깊이를 제공합니다. 컴퓨터 제어 스캐너는 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 이미징 (wafer imaging) 을 보장하며, 다중 레이어 배치 및 노출 패턴을 처리하는 기능은 수율과 생산성을 증가시킵니다. 이 장비는 또한 최적화 엔진 (Optimization Engine) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 시스템을 다른 장치 생산 요구 사항에 맞게 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 장치는 자동 트랙 머신 (Automated Track Machine) 도 갖추고 있으며, 사용자는 생산 과정에서 장비의 성능을 모니터링할 수 있습니다. 이 도구는 열 굽기 (thermal baking) 도 가능하여 사용자가 노출 된 수지의 균일성을 제어 할 수 있습니다. 고급 기판 처리 (Advanced Substrate Handling) 를 통해 자산은 얇은 기판을 쉽고 안전하게 전송하고 처리하여 오염 위험을 줄일 수 있습니다. FUSION M200PCU는 장치 제조에 이상적인 다재다능하고 강력한 노출 모델입니다. 고급 이미징 기능, 견고한 장비 아키텍처, 유연한 최적화 엔진 덕분에, 이 시스템은 최대의 장치 생산량 및 정확성을 제공합니다.
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