판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293651753

AXCELIS/FUSION M 200 PCU는 반도체 업계의 생산을 지원하기 위해 설계된 노출 장비입니다. 이 시스템에는 광대역 UV 광원을 관리, 제공 및 제어하기위한 고급 플랫폼이 포함되어 있습니다. 어댑티브 (adaptive) 장치를 사용하여 출력 전원을 자동으로 제어할 수 있습니다. FUSION M200PCU에는 쿼츠 밀폐 광학 머신이 있으며, 패턴화 및 레티클 이미징 (reticle imaging) 과 같은 목적으로 모든 출력 수준의 스캐너, 스테퍼 및 생산 데크에 직접 통합 될 수 있습니다. 공구는 광학 매개변수 (optical parameter) 가 많으므로 다양한 유형의 반도체 기판 및 피쳐 크기를 수용할 수 있습니다. 이 자산은 또한 편광 (polarization) 및 높이 센서 (height sensor) 와 같은 광범위한 광학 구성 요소와 독특한 빔 균질화 (beam homogenizer) 를 특징으로하며, 이는 균일 한 강도 분포를 제공합니다. 이 모델은 노출 시간 (Exposure Time) 과 전력 수준 (Power Level) 을 예약하여 정확한 양의 UV 방사선을 전달할 수 있습니다. 모든 장비 기능은 프로그래밍 가능하며 시스템은 스캔 전용 (scan only) 또는 스캔 및 제어 모드를 지원합니다. 또한 정교한 유지 보수 테스트 장치 (Maintenance Test Unit) 를 갖추고 있으며 유연하고 향후 업그레이드를 지원할 수 있도록 설계되었습니다. 유지 보수 및 수리 작업을 위해 AXCELIS M200 PCU 장치는 원격으로 서비스되도록 설계되었으며, 기술자가 서비스를 제공하는 동안에도 작동을 유지합니다. 이 기계는 또한 강력한 소프트웨어 모음을 통해 원격 도구 모니터링 (remote tool monitoring) 및 제어 (control) 기능을 제공합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 기술자가 원격으로 매개변수를 조정하고, 자산 설정을 조정하고, 문제를 해결할 수 있습니다. M-200 PCU 는 높은 안정성과 긴 서비스 수명 (서비스 수명) 을 위해 설계되었으며, 평생 동안 유지 보수가 거의 필요하지 않습니다. 이 모델은 또한 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 와 같은 수많은 사용자 친화적 기능을 갖추고 있으며, 운영자 및 엔지니어가 모든 장비 기능에 직관적으로 액세스할 수 있습니다. AXCELIS M200PCU 는 프로그래밍이 용이하고 사용이 간편한 시스템으로, 반도체 운영 및 기타 까다로운 애플리케이션에 고품질의 UV (UV) 조사 기능을 제공하는 데 적합합니다. 이 제품은 지속적으로 정확한 노출을 제공하도록 설계되었으며, 기존 운영 라인에 쉽게 통합될 수 있습니다.