판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293595633

AXCELIS/FUSION M 200 PCU (Programmable Control Unit) 는 통합 회로 처리의 정밀 제어를 위해 설계된 자동 웨이퍼 노출 장비입니다. 이 시스템에는 고급 제어 알고리즘, 다양한 구성, 사용자 친화적 인 인터페이스가 있습니다. FUSION M200PCU 는 다양한 소프트웨어 기술을 활용하여 반도체 제조 작업을 위한 포괄적이고 유연한 솔루션을 제공합니다. 이 장치의 핵심 기술은 고정밀 웨이퍼 스테이지로 구성되며, 8 개의 동작 축을 가진 프로그래밍 가능한 자동 포지셔닝 머신으로 구성됩니다. 따라서 웨이퍼 정렬, 회전 및 포커스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 자동 다이빙 및 치핑 (chipping) 생산과 트렌드 설정 진공 단계 (trend-setting vacuum stage) 가 가능한 사용자 구성 가능한 웨이퍼 슈터가 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 운영 처리량을 최적화하고 안정성을 극대화하는 데 도움이 됩니다. AXCELIS M200 PCU 는 고급 전자 제어 기술을 통해 다양한 운영 환경에서 뛰어난 성능과 정확한 결과를 보장합니다. 제어 프로세서는 여러 프로그램을 동시에 실행할 수 있으며, 처리량 (throughput), 생산성 (flexibility) 이 향상되었습니다. 또한 고급 데이터 수집을 통해 프로세스 제어 및 특성화가 용이합니다. 이 자산은 완전히 자동화되도록 설계되었으며, 내장 진공실, 정밀 광학 이색성 필터, CCD 카메라 등 다양한 고급 액세서리가 장착되어 있습니다. 모델 매개변수를 특정 요구사항에 맞게 구성하고, 노출 시간을 설정하고, 노출 시간을 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 인터페이스 (그래픽 디스플레이 및 온라인 도움말 기능 포함) 를 갖추고 있습니다. AXCELIS/FUSION M-200 PCU 는 운영 품질 및 반복 능력을 향상시키는 강력한 툴입니다. 즉, 처리 매개변수와 최적화된 처리량을 안정적이고 정확하게 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 프로덕션 및 프로토타입 적용 모두에 적합한 선택입니다.