판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 200 PC #9065744

AXCELIS/FUSION M 200 PC는 다양한 photolithographic 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 3D 노출 장비입니다. 이 시스템은 고효율 이미징 장치를 갖춘 동력 상단 렌즈 (Motorized Top Lens) 로, 더 넓은 동적 범위 효과로 더 높은 이미지 품질을 제공합니다. 또한이 기계는 더 높은 해상도 처리를 위해 1 펄스 및 2 펄스 서열을 통합합니다. FUSION M200PC는 최대 스캐닝 속도가 20 Hz인 대형 X-ray 시야를 제공합니다. 이 도구는 고급로직 (advanced logic) 이나 메모리 집적회로 (memory integrated circuit) 와 같은 대용량 부품의 생산과 인쇄 회로 기판에 사용되는 필름에 적합합니다. AXCELIS M200 PC는 처리량 및 정확도를 높이기 위해 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스는 그래픽 소프트웨어 (Graphical Software) 에 통합되어 쉽게 자산을 설정하고 운영할 수 있습니다. 이 모델은 또한 다양한 금속 및 필름 기판, 레티클 (reticle), 포토레지스트 (photoresist) 와 같은 다양한 구성 요소 및 재료와의 응용 프로그램 호환성을 제공합니다. AXCELIS/FUSION M200 PC는 정확한 셔터 정렬을 통해 석판화 반복성이 뛰어납니다. 또한 통합형 SoftScanTM (SoftScanTM) 기술을 통해 사용자가 한 번의 반복적인 동작 (motion) 을 통해 더욱 정확한 조정 기능을 제공할 수 있습니다. 고급 선형 (advanced linear) 단계를 통해 이 시스템은 고성능 드릴링 머신과 동일한 샷 투 샷 (shot-to-shot) 반복성을 재현할 수 있습니다. 이 장치는 또한 정확한 환경 제어를 위해 진공/가스 제어 기계를 제공합니다. 또한 사용자가 결함 있는 정렬 및 노출 매개변수에 대한 프로세스 내 피드백을 제공하는 인라인 도량형 (inline metrology) 도구를 제공합니다. 또한 FUSION M200 PC는 구성 요소를 쉽게 교체할 수 있으므로 쉽게 유지 관리할 수 있습니다. 결론적으로, M200 PC는 photolithographic 응용 프로그램의 처리량 및 정확성을 높이기 위해 설계된 훌륭한 노출 자산입니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 소프트웨어, 도량형 시스템, 곡선 시야, 진공/가스 제어 등을 제공합니다. 생산성 향상을 위해 고급 3D 노출 모델을 찾고 있다면, M 200PC 는 훌륭한 옵션입니다.