판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 200 ACU #293641443

AXCELIS/FUSION M 200 ACU는 정확한 고속 패턴을 제공하는 고급 석판 노출 장비입니다. 시중에서 가장 빠른 스캐너 중 하나이며, 시간당 최대 200 개의 웨이퍼 노출에 도달 할 수 있습니다. 높은 처리량과 정확한 오버레이 정확도로 동적 성능을 제공합니다. ACU 는 고급 광학 이미징 시스템과 가변 속도 DC 모터를 사용하여 보다 뛰어난 제어 및 유연성을 제공합니다. 이미징 장치는 다양한 렌즈, 빔 스플리터 (beam splitter) 및 기타 광학 부품을 사용하여 기계를 다시 프로그래밍하지 않고도 여러 레티클을 이미징 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 렌즈 수차 (lens aberration) 교정을 특징으로하며, 극한의 광학 구성을 사용하는 경우에도 정확한 패턴화를 가능하게 합니다. 또한 ACU 는 운영 처리량과 정밀 오버레이를 매우 낮은 TCO 와 혼합합니다. 이 조합을 통해 제조업체는 저렴한 비용으로 고밀도 장치를 빠르게 생산할 수 있습니다. ACU는 다이 레벨 패키징에서 다중 레이어 칩 레벨 패키징에 이르기까지 다양한 프로세스 응용 프로그램을 지원합니다. 이 도구에는 몇 가지 성능 향상 제어 기능이 있습니다. 최고 수준의 서보 시스템 (servo system) 과 센서는 빠르고 정확한 신호 처리를 제공하는 반면, 직관적인 콘솔 소프트웨어는 예방 조치를 자동화하여 작업 효율성을 향상시킵니다. 또한, ACU 는 다양한 표준 구성요소와 맞춤형 구성요소를 통해 광범위한 구성성과 안정성을 제공합니다. 또한, ACU는 여러 안전 표준을 사용하여 운영자가 작업을 안전하게 수행할 수 있습니다. 에셋에는 공압 밸브 잠금 장치 (pneumatic valve lock), 저압 후압 인터 록 (back-pressure interlock) 모델, 진동 모니터링 장비 및 반사기 청결 검출기와 같은 추가 기능이 포함되어 있습니다. FUSION M 200 ACU는 강력하고 고급적인 석판화 기기로, 매우 정밀하게 장치를 안정적이고 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 이 제품은 속도, 유연성, 성능 향상 (Performance Enhancing) 기능을 제품 장비에 통합하여 제품 출시 시간을 단축하고 TCO (총 소유 비용) 를 절감할 수 있습니다. 이 시스템은 생산 과정에서 가장 높은 품질과 효율성을 추구하는 제조업체에 적합한 선택입니다 (영문).