판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PS #293617644
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AXCELIS/FUSION M 150PS는 FUSION Technologies에서 판매하는 노출 장비입니다. 웨이퍼 및 마스크 노출을위한 반 도체 산업을위한 이상적인 솔루션입니다. 이 시스템의 다용도 (versatile) 설계를 통해 수많은 기능을 통해 사용자는 정확성과 처리 속도를 최적화할 수 있습니다. FUSION M 150PS에는 고성능 옵틱, 장거리, 긴 서비스 수명, 고급 Precise Tune ™ 최적화 장치, 고급 리소그래피 제어 패키지 등 다양한 기능이 제공됩니다. 이러한 기능은 정확하고 빠른 처리 시간을 제공하는 정밀 통합을 제공합니다. AXCELIS M 150PS 는 손쉽게 조절할 수 있는 머신으로, 더 빠른 웨이퍼/마스크 정렬 및 신속한 노출 시간을 제공합니다. 고급 이미지 처리 (Advanced Image Processing) 및 밸런싱 (Balancing) 기능을 통해 사용자는 설정 시간을 단축하여 운영 효율성을 높일 수 있습니다. 고급 PrecueTune 에셋은 튜닝 기능과 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 제공하여 사용자가 노출을 세밀하게 조정하고 이미지를 최적화할 수 있도록 합니다. 또한이 모델에는 석판화 컨트롤 패키지 (lithography control package) 통합이 있으며 광학, 스캔 및 수차 보정에 대한 향상된 제어 기능을 제공합니다. 통합된 고급 이미징 기능에는 왜곡 매핑 (distortion mapping) 및 다중 샘플링 (multi-sampling) 이 포함되어 있어 이미지 충실도 및 정확도를 모니터링하는 데 도움이 됩니다. 또한 M 150PS 는 프로세스 자동화 (Process Automation) 및 환경 모니터링 시스템 (Environmental Monitoring System) 뿐만 아니라 모든 성능 문제를 빠르고 쉽게 감지할 수 있는 진단 옵션도 제공합니다. 이 장비에는 원격 연결 (remote connection) 기능도 있어 여러 사용자가 동시에 노출 프로세스를 보고 제어할 수 있습니다. 결국, AXCELIS/FUSION M 150PS는 생산 효율을 극대화하려는 반도체 업계의 사람들에게 이상적인 노출 시스템입니다. 고급 기능을 통해 사용자 친화적이고 안정성이 뛰어나므로, 사용자가 정확하고 신속한 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 노출 처리 (mask exposure processing) 를 수행할 수 있습니다.
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