판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PS #293616814

AXCELIS/FUSION M 150PS는 반도체 업계의 고급 리소그래피 애플리케이션을 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 투영 광학 (projection optics) 을 사용하여 광도 표면에 정확한 패턴을 비추고 집적 회로 (IC) 에 복잡한 회로 패턴을 만들 수 있습니다. FUSION M 150PS는 436-451nm의 파장 범위를 가진 강력한 광원을 제공하는 고출력 수은/제논 램프를 사용합니다. 그것의 투영 광학은 광학 요소, 응축기 렌즈, 레티클 홀더 및 150 배율을 제공하는 투영 렌즈로 구성됩니다. 이 광학 경로는 스텝 (step) 으로 동기화되고 동작 시스템을 반복합니다. 이는 레티클 패턴을 IC 의 넓은 영역을 빠르고 정확하게 패턴화하도록 이동합니다. 이 장치는 또한 노출 챔버 내부의 압력을 유지하고 노출 과정 (exposure process) 동안 최고 수준의 정밀도를 보장하는 진공 기계 (vacuum machine) 를 갖추고 있습니다. 또한 AXCELIS M 150PS에는 조작자가 유해한 방사선 및 기타 잠재적 인 위험으로부터 보호하기 위해 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. M 150PS의 고급 기능은 칩 패키징 (chip packaging) 및 마이크로 인쇄 부품 (microprinted component) 과 같은 대용량 리소그래피 애플리케이션에 이상적입니다. 또한 큰 IC에 비해 이미지 품질이 일관된 뛰어난 처리량을 제공합니다. 강력한 블레이드 스캐너 (Blade Scanner) 를 통해 가장 복잡한 패턴까지 빠르고 정확하게 노출할 수 있으며, 경제적인 운영 환경에서 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다. AXCELIS/FUSION M 150PS 는 의료 기기, 통신 등 일반적인 멀티 프로젝트 웨이퍼 프로세스에 적합한 제품입니다. 유연성과 견고한 디자인으로 다양한 리소그래피 (lithography) 어플리케이션에 적합합니다.