판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9293816

AXCELIS/FUSION M 150PCU 는 단일 노출 (single-exposure) 기능과 다중 노출 (multi-exposure) 기능을 모두 필요로 하는 다양한 애플리케이션을 위해 설계된 중간 성능 노출 장비입니다. 이 기계는 1축, 2축 또는 3축 구성으로 X 또는 Y 사건을 조정하고 사용자 정의할 수 있는 유연성을 제공하는 새로운 6축 동작 시스템을 갖추고 있습니다. FUSION M 150PCU 워밍업 시간은 유사한 시스템에 비해 개선되었으며, 최대 6 개의 축에 대해 2 분의 워밍업 시간이 있습니다. 이 장치는 1 마이크로미터의 선형 증가로 작동하도록 설계되었으며 20mm 스캔 범위에서 ± 2% 의 전체 정확도를 제공합니다. 이 기계는 또한 22 나노미터 (22 나노미터) 의 높은 해상도를 가지고 있으며, 정렬, 접촉 및 이미징 응용 프로그램으로 더 큰 선택성과 정확성을 제공합니다. 하위 노출 기능과 통합 자동 초점, 직관적인 탐색 기능을 통해 AXCELIS M 150 PCU 는 신속한 설계와 최고의 기능 및 패턴 충실도에 적합합니다. 이 기계에는 다양한 에너지 수준 선택, 가변 스캔 속도, 가변 dosimetry, 스캐닝 배리어 가드 (Scanning Barrier Guard), 알리너 (Aligner), 스캔 인 사이트 (Scan in Situ) 등 포괄적인 고급 안전 기능을 포함한 다양한 표준 기능이 제공됩니다. 또한 종합적인 진단 패키지 (Diagnostic Package) 가 제공되어 항상 사양 내에 공구 성능이 유지되도록 합니다. 이 자산은 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 로 구동되며, 단순하고 자동화된 운영을 제공합니다. 이 인터페이스는 또한 포괄적인 온라인 데이터 로그 (online data log) 및 통계 프로세스 제어 (statistical process control) 기능을 제공하여 사용자는 실시간으로 프로세스 성능을 모니터링하고 추적할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 최대 200cm 너비의 특수 챔버 (Specialty Chamber) 와 다양한 교정 절차를 포괄적으로 지원합니다. FUSION M 150 PCU는 생명 과학 및 마이크로 일렉트로닉스 부문의 나놀리 토그래피, 레이저 제거, 모션 제어 등 다양한 주요 응용 분야에 적합합니다. 경제적이고 안정적인 설계로 중간성능 (Intermediate Performance) 노출 장비를 찾는 고객에게 이상적인 선택입니다.