판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PCU #9235795

AXCELIS/FUSION M 150PCU는 웨이퍼, 기판 및 마스크 제작과 같은 생산 수준 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 산업 등급 포토리스트 노출 장비입니다. 이 시스템은 유연성이 높으며 자동 기판 및 마스크 교환기, 스테레오 리토그래피, 조정 가능한 노출 영역 등의 기능을 제공합니다. FUSION M 150PCU 는 종합적인 소프트웨어 패키지로 제작되어 속도, 정확도가 높은 고도로 반복 가능한 노출을 지원합니다. 이 소프트웨어를 통해 사용자는 건식 (dry) 및 습식 (wet) 공정 모두에서 라이트 레벨과 획득 시간을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한, 넓은 노출 범위에서 최대 0.1mm의 위치 정밀도를 허용합니다. 또한 가변 속도, 다중 영역 스캔 루틴으로 장기적인 노출 일관성을 보장합니다. AXCELIS M 150 PCU는 고정밀 서보 제어 스테퍼 및 컨트롤러, 사진 센서 및 소프트웨어 플랫폼으로 구성됩니다. 컨트롤러에는 자체 내장형 마이크로프로세서와 전자제품 (Electronics) 이 장착되어 있어 사진 센서와 상호 작용합니다. 사진 센서 자체에는 고정밀도 광학 장치가 포함되어 있어 표준 프로파일러에 비해 출력량 (PPO) 과 노출 시간을 보다 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 기계에는 고급 XY 포지셔닝 도구 (XY 포지셔닝 도구) 가 장착되어 있어 넓은 영역에 대한 정확한 정확성을 제공합니다. 또한, 노출 중 샘플을 단단히 보관하기위한 진공 척 (vacuum chuck) 자산이 포함되어 있습니다. 이 모델에는 반사 방지 코팅 (anti-reflective coating) 장비가 장착되어 있어 노출 과정에서 웨이퍼에 정적 (static) 을 구축할 위험을 줄일 수 있습니다. FUSION M 150 PCU에는 전용 공기 필터 및 유해한 방사선으로부터 인력을 보호하기위한 전문 차폐 (shielding) 및 내장 비상 차단 시스템 (Emergency Shoff System) 을 포함한 안전 기능이 내장되어 있습니다. 이 장치는 99.9% 의 가동 시간으로 매우 신뢰할 수 있습니다. 전반적으로 M 150PCU 노출 머신은 프로세스의 중요한 리소그래피 프로세스에 적합한 선택입니다. 견고하고, 사용하기 쉽고, 유연하며, 다양한 어플리케이션에 레이저 정밀도와 안정성을 제공합니다.