판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PCJ #9095711

AXCELIS/FUSION M 150PCJ는 고급 UV LED 어플리케이션을 위한 경제적인 노출 장비입니다. 이 시스템은 광범위한 서브 미크론 기판에서 고급 성능을 제공합니다. LED 지원, DIDI (Direct Imaging) 및 다양한 DHC (Digital Height Control) 옵션과 같은 독점 기술을 사용하여 FUSION M 150PCJ는 이미징 및 기능 크기에 대한 탁월한 정확성을 제공합니다. AXCELIS M 150PCJ 는 운영 정밀도, 정밀 이미지 전송, 동적 응답을 보장하는 통합 측정/제어 유닛으로 설계되었습니다. 여기에는 최적의 성능을 위해 노출 챔버를 안정화하는 열 관리 냉각 장치 (thermal managed cooling machine) 가 포함됩니다. DIDI (Direct Imaging Technology) 는 노출과 이미징 레이어 사이의 중복을 강화하는 한편, 기판의 기능 크기의 대조 해상도를 강화합니다. FUSION의 Mach 2.0 모듈에는 고급 DHC (Digital Height Control) 옵션이 포함되어 있으므로 다른 레이어를 정확하게 정렬하고 다중 초점 노출 루틴을 조정할 수 있습니다. 이 기능을 통해, 많은 기판에서 특징의 미세 피치와 균일성을 달성 할 수 있습니다. 또한 M 150PCJ는 내부 클리닝 기능을 지원하여 보다 효율적인 기판 처리, 향상된 수율 및 도구 성능을 제공합니다. AXCELIS/FUSION M 150PCJ 는 인체 공학적 설계를 통해 프로세스를 효율적이고 정확하게 처리할 수 있습니다. 또한 자산의 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 및 실시간 원격 모니터링 (real-time remote monitoring) 기능을 통해 운영자에게 신속한 피드백을 제공하여 필요에 따라 신속한 조정이 가능합니다. 또한, 이 모델은 자동 초점 클리닝, 심층 클리닝, B 단계 클리닝 등의 다양한 클리닝 프로세스를 지원합니다. 전체적으로, FUSION M 150PCJ는 깊은 UV LED 어플리케이션의 요구를 충족시킬 수있는 다재다능하고 매우 정확한 노출 장비입니다. 통합된 Layer 제어 기술과 자동화된 워크플로우를 통해 빠른 설치 및 효율적인 운영을 실현할 수 있습니다. 게다가, 인체 공학적 설계와 비용 효율적인 운영을 통해 시스템 성능을 극대화할 수 있는 이상적인 솔루션이 됩니다.