판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #9399679

AXCELIS/FUSION M 150PC는 다양한 리소그래피 애플리케이션에 사용되는 통합, 고성능 노출 장비입니다. 다양한 기능 크기와 피치 (pitch) 정확도 수준에서 가장 엄격한 이미징 요구사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 최대 375mm 레티클과 호환되는 고속 다기능 전송 플랫폼이 있습니다. 최대 30 개의 레티클을위한 자동 처리 장치 (automated handling unit) 와 정렬 및 검증을위한 레이저 뷰어 (laser viewer) 가 포함되어 있습니다. FUSION M150PC에는 첨단 기술 (최첨단 기술) 과 고급 이미지 처리 알고리즘 (고급 이미지 프로세싱 알고리즘) 의 조합을 활용한 고급 광 패턴 생성기 (optical pattern generator) 가 포함되어 있어 뛰어난 정확성과 반복성으로 다양한 샷 크기를 만들 수 있습니다. AXCELIS M 150 PC에는 다중 레벨 레이저 노출 헤드도 장착되어 있습니다. 최대 150W 전력을 가지며 최대 250m/s 속도로 샷을 노출 할 수 있습니다. 레이저는 매우 낮은 선과 공간 변형을 가진 높은 충실도 (fidelity) 이미지를 제공하도록 설계되었습니다. AXCELIS/FUSION M150PC는 실시간 초점 제어, 고급 정렬 제어, 오류 수정 기능을 결합하여 최적의 이미지 제어를 유지합니다. 자동화된 프로세스 제어 머신 (automated process control machine) 은 향상된 프로세스 도구 제어 기능을 통해 각 실행에서 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 도구에는 차세대 리소그래피 런타임 소프트웨어 인 iCure도 있습니다. 이 소프트웨어는 노출 과정에서 발생할 수 있는 모든 문제를 파악, 분석, 수정하여, 보다 효율적이고 안정적인 제품 개발을 가능하게 합니다. 그 결과 유연하고, 안정적이며, 고성능 노출 자산으로, 동작 안정성이 극대화되고, 반복성과 정확성이 우수하며, 프로세스 제어 기능이 향상되었습니다. FUSION M 150PC (FUSION M 150PC) 는 광범위한 리소그래피 애플리케이션에서 운영 효율성과 품질을 향상시키는 데 매우 적합한 솔루션입니다.