판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #9266726

AXCELIS/FUSION M 150PC 초고에너지 노출 장비는 반도체 웨이퍼를 매우 정확하고 정확하게 노출할 수 있도록 설계된 정교한 장비입니다. 이 제품은 매우 강력하고 고급 제논 램프 (xenon lamp) 를 전원으로 사용하여 모든 애플리케이션에서 최고의 성능을 보장합니다. 이 "시스템 '은 시장 에서 사용 할 수 있는 어떤 표준 단위 의" 에너지' 를 훨씬 능가 하는 노출 "에너지 '산출 을 제공 할 수 있다. FUSION M150PC는 거울과 산란 격자의 독특한 모 놀리 식 (monolithic) 디자인을 사용하여 산란을 통한 에너지 손실을 최소화하고 유해한 광학 왜곡을 최소화합니다. 따라서 빔 에너지 (beam energy) 수준이 일관성이 유지되므로 사용자가 원하는 노출 결과를 쉽고 정확하게 달성할 수 있습니다. 출력 측면에서, 기계에는 다양한 마스크 크기를 손쉽게 처리, 전환할 수 있는 고성능 마스크 처리 (HPD) 도구가 있습니다. 또한 AXCELIS M 150 PC는 우수한 온도 및 진동 제어를 통해 전체 노출 과정에서 완벽한 성능을 보장합니다. 온도는 -20 ° C ~ 60 ° C 범위 내에서 정확하게 유지되며, 자산은 최고 품질의 노출을 보장하기 위해 일정한 진동 수준으로 유지됩니다. M 150 PC는 또한 제논 램프 (xenon lamp) 를 위한 고효율 교환 장치를 통합하여, 모델 작동을 중단하지 않고 빠르고 쉽게 전구를 교환 할 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 강력한 셔터 (shutter) 및 필터 (filter) 컨트롤 세트가 포함되어 있어 필요에 따라 노출 강도와 지속 시간을 조정할 수 있습니다. 마지막으로 AXCELIS/FUSION M150PC 는 강력한 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 로, 노출 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있는 고급 툴을 갖추고 있습니다. 결국, FUSION/FUSON AXCELIS M 150PC는 사용자에게 시간이 지남에 따라 완벽한 노출 시간을 생산하는 데 필요한 도구를 제공하는 최고의 시스템입니다.