판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #9250096

AXCELIS/FUSION M 150PC Exposure Equipment는 IC 생산에 사용하도록 설계된 고급, 직접 보기 웨이퍼 노출 도구입니다. 이 시스템은 서브 미크론 (sub-micron) 기능 크기의 고밀도 장치의 수량 생산에 적합합니다. 이 장치는 선형 모터 머신 (Linear Motor Machine) 을 기반으로 기판의 정확한 위치 지정 및 로드/언로드가 가능합니다. 이 도구는 30 미크론의 깊이로 200X 감소로 최대 150mm 기판을 노출 할 수 있습니다. 이 자산은 오염을 줄이고 정확도를 높이도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 이 모델의 직접 보기 기능은 닫힌 유리 캐노피 (glass canopy) 가있는 내장형 긴 수명, 밀봉 렌즈 프로젝션 장비를 사용하여 깨끗하고 먼지 없는 환경을 보장합니다. 또한 통합 레이저 간섭계 (integrated laser interferometer) 가 장착되어 기판 위치 조정 및 기판 기울기 제어 기능을 제공합니다. 이 시스템의 광학 장치는 코팅 프리 드라이 프로젝션 렌즈 (coating-free dry projection lens) 와 미크론 (sub-micron) 피쳐 크기의 생성을 가능하게하는 일련의 광학 대역 패스 필터를 사용합니다. 또한, 기계에는 전동 정렬 기 (Motorized Aligner) 가 장착되어 있으며, 이는 < 0.2um의 정밀도로 기판을 빠르고 정확하게 정렬하는 데 사용될 수 있습니다. 이 도구의 전동 웨이퍼 처리 자산은 단일 및 이중 기판 처리를 모두 제공하며 6 시그마 기능을 포함합니다. 이 모델에는 또한 반복 가능한 기판 처리를 보장하기 위해 완전 자동화 된 자동 기판 매핑 기능이 있습니다. FUSION M150PC는 효율적이고 안정적인 장비로, 장기적인 비용 효율적인 생산을 위해 설계되었습니다. 이 시스템의 전문 프로그래밍은 빠르고 안정적인 처리량을 보장하며, 운영 속도는 시간당 최대 12 사이클입니다. 모듈식 (modular) 구성으로 설계되어 필요에 따라 유연성 및 업그레이드가 가능합니다. 이 시스템은 원격 모니터링 및 제어를 위한 네트워크 접속성 (Network Connectivity) 을 제공하며 다양한 호스트 컴퓨터, 운영 체제, 소프트웨어와 호환됩니다. AXCELIS M 150 PC Exposure Tool은 IC 구성 프로세스를 위한 고급 정밀 노출 기능을 제공합니다. 이 자산은 다양한 기능과 자동화 (automation) 를 통해 고집적 (high-density) 장치 생산에 적합하며 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.