판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #9241901

AXCELIS/FUSION M 150PC는 대용량 포토마스크 생산을 위해 설계된 고급 비용 효율적인 노출 장비입니다. 높은 처리량, 고품질 이미지, 고급 자동화 기능을 통해 LCD (Display LCD) 를 비롯한 다양한 사진 해설용 마스크를 제작할 수 있는 이상적인 솔루션입니다. 이 시스템은 2 개의 이온 펌프와 2 개의 웨이퍼 로딩 스테이션 옵션을 갖춘 혁신적인 통합 광학 설계를 제공합니다. 또한 대용량 터치스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 와 모션 컨트롤러 (Motion Controller) 를 포함한 차세대 전자 제품과 고정밀도 및 최적 기능 배치를 위한 자동 초점 장치를 갖추고 있습니다. FUSION M150PC는 또한 다양한 기능을 제공하여 체계적인 성능을 향상시킵니다. 이러한 기능에는 다양한 가스에서 효율적인 필름 개발을 위해 고출력 이온 펌프 (ion pump) 와 조절 가능한 조리개와 함께 고대비, 낮은 왜곡 및 넓은 영역 이미지를 생성 할 수있는 대용량 편광기 및 에미 터 (emitter) 가 포함됩니다. 이 기계는 또한 빠른 스캔 시간을 가능하게하는 ProX 유사 FRS (Full Range Scanner) 와 샷필드의 자동 정렬을 위한 직관적인 FAS (Focal Alignment Tool) 를 자랑합니다. 또한 기판에 비해 조절 가능한 에너지를 가진 고급 다층 리소그래피 (multilayer lithography) 자산이 있습니다. 또한, 이 모델에는 빠르고 효율적인 배치 처리를 지원하는 자동화된 웨이퍼 처리 메커니즘이 있습니다. 이 웨이퍼 처리 메커니즘에는 4 개의 로봇이 있습니다. 하나는 스테이션에서 웨이퍼를 로드 및 언로드하고, 다른 하나는 검사 및 청소하고, 다른 하나는 분리합니다. 로봇은 처리량 증가를 위해 여러 웨이퍼로 배치 처리에 사용할 수 있습니다. 또한 로드/언로드 (load/unload) 모듈에는 레티클 및 기타 부품이 손상되지 않도록 하는 자동 충돌 탐지 장비가 함께 제공됩니다. AXCELIS M 150 PC를 사용하면 알루미늄, 쿼츠 마스크, 다양한 기판으로부터의 전송을 포함하여 다양한 포토 마스크 유형을 생산할 수 있습니다. 또한 50nm에서 500nm 사이의 다양한 해상도를 제공합니다. 또한, 이 시스템은 오버레이 오류를 완화하여 정확한 포토 마스크 정렬 및 수율 증가를 허용합니다. 전반적으로 AXCELIS/FUSION M 150 PC는 비용 효율적인 고성능 노출 장치로, 포토마스크 제작을 간소화, 간소화, 개선하는 다양한 기능을 제공합니다. 높은 처리량, 고급 자동화, 직관적인 터치스크린 인터페이스를 통해 LCD 및 디스플레이 (Display) 어플리케이션용 최고 품질의 포토마스크를 제작할 수 있는 완벽한 도구입니다.