판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #9226631

AXCELIS/FUSION M 150PC는 FUSION Technologies에서 제조 한 노출 장비입니다. 집적 회로 (IC) 웨이퍼 및 기판에 패턴을 만드는 데 사용되는 리소그래피 시스템입니다. 이 장치는 최대 150mm 크기 (6 인치) 의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 패턴 깊이 해상도는 최대 5 나노 미터입니다. 이 기계는 고급 고해상도 (high-resolution) 기능, 높은 처리량 및 사용 편의성이 특징입니다. 이 도구는 고해상도, 고해상도 스테퍼 스캐닝 자산을 갖추고 있으며, 최대 350 wafers/hr에서 6 "웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 모델은 Asurf 소프트웨어 (Asurf software) 를 사용하여 광범위한 노출 패턴 및 기판 재료를 사용하도록 프로그래밍되어 있어 원하는 웨이퍼 크기 (Wafer Size) 및 생산 요구사항에 맞게 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장비는 또한 장수 연속 파동 레이저 다이오드 (Laser Diode) 를 특징으로하며 최대 10nm의 기판 패턴을 지원할 수 있습니다. FUSION M150PC에는 고성능 전자 빔 소스도 장착되어 있습니다. 이 빔 소스를 사용하면 사용자가 패턴 깊이를 최대 5nm까지 달성 할 수 있으며, 빔 전류 범위는 최대 3 amps/cm2이며 노출 용량은 최대 20 mrad/cm2입니다. 이 시스템은 또한 실시간 결함 감지 (Real Time Defect Detection) 기능을 제공하여 사용자가 기판의 결함을 신속하게 파악할 수 있도록 하여 최적의 생산성을 제공합니다. 이 장치는 인체 공학적 설계 (ergonomic design) 를 기반으로 제작되었으며, 소프트웨어 사용이 간편하여 기존 프로세스와 교육 요구 사항에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 시스템은 AXCELIS OneCET 소프트웨어 및 AXCELIS/FUSION Interlock Controller로 구동되어 효율적인 웨이퍼 프로세스 모니터링 및 제어를 제공합니다. 이 도구는 안전, 품질 및 환경 표준에 대한 ISO, SEMI 및 OHSAS 표준을 준수합니다. 또한 업계 표준과 안전 규정 (Safety Regulation) 을 준수하기 위해 정규적인 유지 보수/업데이트 (Maintenance and Update) 를 실시하여 전체 수명 동안 최적의 성능을 보장합니다. AXCELIS M 150 PC는 모두 패턴 정의 (pattern definition) 와 기판 재료 (substrate material) 유형의 가장 정밀하고 선명도를 위해 설계된 고성능 노출 모델입니다. 고속 처리량 (High-Speed Throughput) 및 정확한 패턴화를 제공하는 이 장비는 사용자에게 뛰어난 유연성과 최적의 성능을 위해 지속적으로 조정할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 시스템은 빔 추적 패키지 (옵션) 및 실시간 결함 탐지 (real time defect detection) 와 결합하여 IC 생산 및 기타 관련 프로세스에 적합한 솔루션입니다.