판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #9095710

AXCELIS/FUSION M 150PC는 반도체 패키징 및 생산 어플리케이션을 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 이 시스템은 미세 전자재료 (microelectronic materials) 를 만들 때 뛰어난 성능과 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 노출 장치 (Exposure Unit) 는 재료 처리에서 가장 까다로운 문제조차도 처리하도록 설계되었습니다. 기계에는 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 가 장착되어 있어 효율적인 워크플로가 가능하며, 사용자는 모든 처리 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 FUSION M150PC (FUSION M150PC) 는 고급 모니터링 자산 (Advanced Monitoring Asset) 을 제공하여 정확한 처리 요구 사항을 충족합니다. 강력한 디자인으로, 이 모델은 섬세한 재료를 노출시키기 위해 뛰어난 균일성, 제어, 정확성 및 반복 성을 제공합니다. AXCELIS M 150 PC는 250nm에서 850nm의 좁은 밴드 스펙트럼 출력이있는 고강도 150W 수은 증기 램프를 사용합니다. 이를 통해 사용자는 정확한 노출 시간 (exposure time) 과 노출 방식 (shaping of exposure) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장비에는 또한 독립적으로 제어되는 노출 플레이트 (exposure plate) 와 지원 플레이트 (support plate) 로 구성된 동적 노출 챔버가 있습니다. 이 기능은 정확하고 반복 가능한 결과를 통해 신속한 노출 프로세스를 보장합니다. 또한, 통합 정렬 시스템을 사용하면 노출 각도 (Exposure Angle) 와 광학 투영 각도 (Optical Projection Angle) 를 정확한 노출 매개변수에 빠르게 동기화할 수 있습니다. AXCELIS/FUSION M150PC는 여러 슬라이드를 활용하여 수동 조정 작업을 대체하는 개선된 장치 설계를 제공합니다. 이 설계는 시스템 정확도를 높이고 처리 시간을 줄입니다. 초정밀 디지털 디스플레이 (Ultra-Precise Digital Display) 및 전면 패널 컨트롤 패널은 운영 환경에 대한 명확한 개요를 제공합니다. 또한, 이 도구는 고해상도 LCD 패널과 함께 정교한 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 이 인터페이스는 개별 운영 요구사항과 요구 사항에 맞게 간편하게 조정할 수 있습니다. 또한, 병렬 노출 및 다중 노출 지점 (multiple exposure point) 을 위해 자산을 구성하여 보다 복잡한 패턴을 효율적으로 노출시킬 수 있습니다. 기존의 노출 시스템과 비교하여 AXCELIS M 150PC 는 고성능 및 효율성을 위해 설계되었습니다. 중요한 반도체 생산 응용프로그램을 위한 안정적이고 경제적인 툴로서, 노출 작업을 위한 빠르고 안정적인 워크플로우 (workflow) 를 제공합니다. 또한 고급 제어 장비, 강력한 조명 시스템, 효율적이고 조절 가능한 노출 챔버 (Exposure Chamber), 정확한 디지털 디스플레이 (Digital Display) 및 완벽한 사용자 정의 가능한 사용자 인터페이스를 제공합니다. FUSION M 150 PC는 반도체 포장 및 생산 응용 분야에 이상적인 장치입니다.