판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #9092481

AXCELIS/FUSION M 150PC는 최신 광학 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 노출 장비입니다. 고성능, 비용 효율적, 유지 보수 (low-maintenance) 구성요소를 기반으로 사용자의 운영 프로세스에서 높은 수준의 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 노출 시스템은 부드럽고 정확한 컴퓨터 제어 Z 단계 이동을 사용하여 정확한 깊이 제어 및 반복 가능한 다중 레벨 높이 제어를 수행합니다. 또한 다양한 디자인 요구 사항을 수용 할 수있는 다양한 레티클 (reticle) 이 포함되어 있습니다. 이 장치에는 선택 가능한 사전 설정 해상도, 조정 가능한 노출 설정 (Adjustable Exposure Settings) 및 측정 옵션 (Measurement Options) 이 장착되어 있어 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. LINEX 스테퍼는 더 나은 해상도와 스캔 라인 균일성 (scan line unifority) 을 제공하는 낮은 충실한 오류로 정확하고 반복 가능한 노출을 보장합니다. 이 기계는 또한 레티클 (reticle) 을 신속하게 변경함으로써 생산성을 높이도록 설계된 통합 진공 저장 도구를 갖추고 있습니다. 이 에셋에는 온도 모니터링, 자동 교정, 노출 설정을 신속하게 유지 및 조정하기 위한 균일 한 온도 탱크가 포함 된 통합 열 제어 모델 (Integrated Thermal Control Model) 도 포함되어 있습니다. FUSION M150PC는 간접 또는 직접 접촉, 단계 및 반복 등 다양한 유형의 설계 기능을 수용 할 수 있습니다. 또한 다양한 필름 형식과 호환됩니다. 이 장비는 댐핑 스탠드 및 백래시 감소 구성 요소로 높은 안정성을 제공합니다. 또한 드라이버와 피드백 (feedback) 시스템이 포함되어 있어 정확도를 극대화할 수 있으며, 유연성과 다용성을 강화하기 위한 다중 노출 설정도 지원합니다. AXCELIS M 150 PC는 최신 광학 리소그래피 (Optical Lithography) 프로세스를 위한 다용도, 고성능, 비용 효율적인 노출 장치를 찾는 사람들에게 적합한 옵션입니다. 사용이 간편한 구성 요소와 높은 정확도, 반복 (repeatability) 기능을 통해 사용자의 운영 프로세스를 개선할 수 있습니다.