판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #293823986
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AXCELIS/FUSION M 150은 정밀 웨이퍼 리소그래피를 위해 설계된 노출 장비입니다. 이 시스템은 낮은 수준의 왜곡으로 높은 수준의 정확성과 반복성 (repeatability) 을 제공 할 수 있습니다. 이 장치에는 스테퍼/분류기, 스캐너 및 노출 챔버가 포함됩니다. 스테퍼/소터 (stepper/sorter) 는 노출 장치에 웨이퍼를 정확하게 배치하는 정확한 제어 도구를 갖춘 자동 카메라 머신입니다. 에셋은 높이와 피치가 다른 웨이퍼 (wafer) 를 포함하여 여러 가지 유형의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 스테퍼/정렬기 (stepper/sorter) 는 또한 노출 축을 따라 부드럽고 효율적인 웨이퍼 이동을 사용하여 정확도를 유지하고 처리량을 향상시킵니다. 스캐너 (scanner) 는 웨이퍼에 대한 특정 정보를 읽은 다음 기판에 투영 할 수있는 레이저 기반 모델입니다. 스캐너는 최대 10 메가 픽셀 (MB) 의 해상도로 스캔하여 높은 정확도와 반복 성을 제공합니다. 스캐너에는 스캔 속도 조정, 조정, 자동 오류 수정 등의 기능이 포함되어 있습니다. 마지막으로, 노출 챔버 (exposure chamber) 는 외부 오염원으로부터 웨이퍼를 보호하는 밀봉 된 환경입니다. 그것 (pneumatically-actuated piston drive) 에 의해 제어되어 웨이퍼를 광원과 동기화하여 움직입니다. 노출 챔버 (Exposure Chamber) 에는 온도 및 습도 센서와 웨이퍼의 정확한 노출을 보장하는 소프트웨어 기반 도량형 도구가 포함됩니다. 전반적으로, FUSION M 150은 높은 수준의 정확성과 반복 성을 가진 안정적이고 정확한 석판화 도구입니다. 이 장비는 집적 회로를 최대 수율로 개발하고, 웨이퍼 (Wafer) 제작 프로세스 속도를 높이고, 비용을 절감하는 데 도움이됩니다. 소규모 디스플레이 (small-scale display) 에서 고도로 복잡한 집적 회로 (integrated circuit) 의 생산에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다.
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