판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #293822595

AXCELIS/FUSION M 150PC는 고품질 및 정밀 집적 회로 사진 해설을위한 아트 노출 장비의 상태입니다. 반도체 산업의 리소그래피 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 Excimer Laser Beam Source, 고정밀 프로젝션 옵틱 모듈, 웨이퍼 스테이지, 통합 FES (Front End Unit) 및 종합적인 프로세스 제어 소프트웨어 제품군으로 구성됩니다. 이 기계는 고대비 표면, 빠른 노출 시간, 정밀 정렬 (precision alignment), 로우 라인 흐림 (low line blur) 등의 최고 품질의 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 독점 FES는 반복성, 높은 처리량 및 뛰어난 이미지 품질을 보장합니다. 레이저 빔 소스는 높은 플럭스 밀도와 좁은 5 nm 대역폭의 UV 방사선을 제공합니다. 이 레이저 에너지는 분할되어 있으며, 빔의 일부는 크로스 웨이퍼 (cross-wafer) 와 인라인 정렬에 사용되는 부분은 0.5 미크론 (micron) 까지 해상도를 제공합니다. 신뢰성이 높은 프로젝션 옵틱 모듈은 3 개의 렌즈 및 미러 스택으로 구성되며, 이미징 해상도 및 왜곡 보정을 제공합니다. 레이저와 포토 마스크를 결합하여 나노 패턴 또는 미크론 스케일 패턴을 생성 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테이지는 정밀 정렬을 보장하며, 높은 처리량 웨이퍼 로더 및 언로더를 사용하여 6축 동작 제어를 제공합니다. 공구의 뛰어난 안정성 (Exceptional Stability) 을 통해 노출 과정에서 웨이퍼의 위치 정밀도가 향상됩니다. 마지막으로, 프로세스 제어 소프트웨어 제품군 (process control software suite) 은 전체 석판화 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있는 포괄적인 기능을 제공합니다. 여기에는 레시피 처리, 모든 매개변수 로깅, 오류 감지 및 복구, 보고 기능 등이 포함됩니다. 이 자산은 분산 처리를 지원하므로 여러 워크스테이션이 동시에 실행될 수 있습니다. FUSION M150PC는 레이저 기술, 프로젝션 광학, 웨이퍼 스테이지 및 소프트웨어 제어를 결합하여 집적 회로 시스템 제작에서 탁월한 성능을 제공합니다. 이 모델은 시간과 비용의 일부분에서 가장 높은 품질의 석판화 이미지 (lithographic image) 를 생성하도록 설계되었으며, 반도체 제조업체는 업계 요구에 부응하면서 경쟁력을 유지할 수 있습니다.