판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #293814121

AXCELIS/FUSION M 150PC는 에피 택시 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 노출 장비입니다. epi 계층의 개발, 노출 및 처리와 같은 상당한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 처리량이 많은 볼륨 생산뿐만 아니라, 소규모 디바이스 구성 프로세스를 위해 설계되었습니다. 고급 고정밀 레이저 스캐닝 및 정렬 장치, 독립 스캐닝 헤드, 2 개의 독립 스캔 캐리지, 신뢰할 수있는 CCD 기반 카메라 머신 및 직관적이고 사용하기 쉬운 터치 스크린 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 도구는 고밀도 회로 기판, 소형 장치, 초박계 (Ultra-Thin Layer) 와 같은 어플리케이션에 가장 높은 해상도와 정확도를 제공합니다. FUSION M150PC는 고급 빔 정렬 에셋 (advanced beam alignment asset) 을 통해 자동으로 빔 스팟 위치를 조정하여 레이저 빔의 가장 높은 초점 정확도를 보장합니다. 이 모델에는 최대 해상도 2048 x 4096 픽셀의 신뢰할 수있는 CCD 기반 카메라 장비가 있어 기판의 정확하고 신뢰할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 고유한 독립 스캐닝 헤드 (Scanning Head) 를 통해 수평/수직 수평 스캐닝 및 정렬 (Alignment) 기능을 통해 더 빠르고 높은 처리량을 제공합니다. 직관적이고 사용이 간편한 터치스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 를 통해 운영자에게 기계를 구성하고 프로세스를 모니터링하는 효율적이고 간단한 방법을 제공합니다. AXCELIS M 150 PC는 높은 정확도와 정확도가 필요한 어플리케이션에 최적화되어 있습니다. 이 제품은 420nm ~ 780nm의 파장 범위에서 최대 150mW의 레이저 전력을 제공 할 수있는 고출력 레이저 소스로 작동합니다. 또한 2, 4, 6 및 8 미크론의 단일 및 이중 라인 해상도로 최대 400mJ/cm2의 높은 투명 및 유창 속도를 갖습니다. 이 도구는 또한 자동 전원 차단, 잠금 해제 가능한 렌즈 보호, 모션 센서, 열 관리 자산 (thermal management asset) 과 같은 고급 안전 기능을 제공하여 인력을 잠재적 위험으로부터 보호합니다. FUSION M 150 PC는 안정적이고 처리량이 높은 모델로, 모든 제조 공정의 요구를 충족할 수 있는 높은 정확성과 탁월한 성능을 제공합니다. 효율적이고 직관적인 운영은 다양한 애플리케이션 (application) 과 업계에서 사용하기에 적합하므로 운영자가 빠르고 효율적으로 우수한 결과를 얻을 수 있습니다 (영문).