판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #293658467

AXCELIS/FUSION M 150PC는 반도체 업계에서 흔히 볼 수 있는 고출력 생산 요구 사항을 지원하기 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 프로세스 제어 (process control) 및 도량형 (metrology) 을 위한 강력한 기능을 제공하여 일관된 수율을 제공합니다. 이 시스템은 photolithography를위한 이중 소스, 8 단계 차등 소스 플랫폼을 기반으로합니다. 이를 통해 고정밀도 마이크로 일렉트로닉스 장치의 생산에 중요한, 정확도가 높은 결과와 프로세스가 보장됩니다. 기능 측면에서 FUSION M150PC는 다이렉트 드라이브 기술, 고해상도 스캐너 광학, 고급 소스 및 도량형 시스템의 혁신적인 조합을 자랑합니다. 이 구성은 최적의 처리량, 낮은 전력 소비량, 뛰어난 프로세스 제어를 제공합니다. 또한이 장치는 또한 풀 스펙트럼 레이저 간섭계 (full-spectral laser interferometer) 를 통합하여 실시간으로 스캐닝 정확도를 측정하고, 정밀한 프로세스 제어 및 의사 결정을 가능하게하도록 설계된 고급 완전 통합 도량형 구성 요소를 측정합니다. 이 시스템은 다양한 고급 하드웨어 컨트롤과 소프트웨어 (software) 패키지를 제공하여 성능을 더욱 향상시킵니다. 여기에는 이미지 기반 웨이퍼 등록 도구, 빠른 처리 속도 및 향상된 처리량을 위한 통합 냉각 (Integrated Cooling) 이 포함됩니다. 또한 AXCELIS M 150 PC에는 표준 다이 사이징 자산, 포지셔닝 모델 및 팔레트 배치 도구가 포함되어 있습니다. "마이크로일렉트로닉스 '생산 과 관련 된 오염 및 기타 위험 을 예방 하는 데 도움 이 되는" 온보드' 안전 장비 도 있다. 마지막으로, 시스템은 광범위한 성능 및 유연성을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 운영 요구 사항에 따라 장치를 위아래로 확장 (scale) 할 수 있습니다. 또한 다양한 데이터 관리 솔루션을 지원하며, 결과를 손쉽게 액세스/검토할 수 있으며, 프로세스 최적화 및 다른 시스템과의 통합을 원활하게 수행할 수 있습니다. AXCELIS M150PC는 고정밀 생산 요구 사항에 이상적인 노출 솔루션입니다.