판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619558

AXCELIS/FUSION M 150PC는 집적 회로 및 고밀도 상호 연결을 제작하기 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 이 시스템은 최고 품질을 갖추도록 설계되었으며, 대부분의 균일 한 결과는 대용량 턴투턴 (turn-to-turn) 생산입니다. 이 장치는 태양 전지, 회로 및 장치 장치를 가장 포괄적인 노출 범위를 산출하도록 정확하게 정렬 할 수있는 다중 파장 플랫폼 (multi-wavelength platform) 을 포함합니다. 이 노출 요법은 처리량 향상, 운영 비용 절감, 장치 전기 성능 향상 등을 제공합니다. 이 기계에는 자외선 (UV) 과 가시 광선 스펙트럼 모두에서 노출 파장을 생성 할 수있는 펄스 엑시머 레이저 (pulsed excimer laser) 를 포함한 여러 조명원이 포함됩니다. 이를 통해 복잡한 폴리 실리콘과 작은 그림 요소를 모두 노출 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다양한 마스크 플레이트 (mask plate) 와 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 갖추고 있으므로 원하는 노출 조건을 빠르고 정확하게 구성 할 수 있습니다. 이 동적 노출 플랫폼은 더 빠른 레이어 간 정렬 및 오버레이 성능을 촉진하는 동시에, 최적화된 노출 스와프를 제공합니다. 자산은 또한 단단한 온도 내도로 설계되었습니다. 이 온도 조절을 통해 사용자는 노출 주기 내내 일관되고 반복 가능한 성능을 얻을 수 있습니다. 이 모델은 활성 공기 냉각 장치 (active air cooling) 를 통합하여 노출 영역 전체에서 균일 한 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. 이 장비에는 고급 소프트웨어 컨트롤도 있습니다. 정교한 알고리즘을 사용하여 다중 파장 노출 플랫폼을 빠르고 정확하게 구성하고, 정교한 장비 제어 시스템과 통합합니다. 이를 통해 사용자는 FUSION M150PC (FUSION M150PC) 에서 얻을 수 있는 최고 수준의 성능을 제공하기 위해 노출 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 업계에서 가장 발전된 노출 플랫폼 (Exposure Platform) 중 하나로 여겨집니다. 고밀도 집적 회로 및 장치의 제작에 적합합니다. 이 장치는 차세대 어플리케이션의 최고 품질의 실리콘 장치 (silicon device) 와 회로 (circuit) 를 보장하는 데 필요한 정확한 제어 및 균일성을 제공합니다.