판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619557
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AXCELIS/FUSION M 150PC는 마이크로 일렉트로닉 제작을위한 고해상도 직접 이미징 (High Resolution Direct Imaging) 형태로 웨이퍼의 정확한 노출 및 이미징을 가능하게합니다. 이 장비는 복잡한 디바이스 생산의 요구를 충족할 수 있는 탁월한 성능과 기능을 제공합니다 (영문). FUSION M150PC는 최신 기술을 활용하여 빠른 속도와 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 광학, 스테이지 및 기판의 고급 제어, 관성이 낮고, 반복성이 우수하며, 작업량이 큰 최상위 정밀 단계를 제공합니다. 추가 기능에는 실시간 이미지 피드백을 제공하는 15 인치 디지털 평면 패널 모니터 (15 인치) 와 다양한 요구 사항을 충족하는 다양한 파장 및 조명 구성 (Lightumination Configuration) 이 포함됩니다. AXCELIS M 150 PC는 최적화된 설계 덕분에 뛰어난 패턴 오버레이 반복성과 안정성을 제공합니다. 이 장치의 디지털 업데이트 보드 (Digital Update Board) 와 고속 제어 CPU (High Speed Control CPU) 는 뛰어난 패턴 안정성과 정확성을 보장합니다. 이 기계는 초점 정확도 및 오버슈트 제어 (Overshoot Control) 기능을 갖춘 고속 프로세싱과 동적 초점 피드백 (Focus Feedback) 을 통해 가혹한 프로세스 환경에서 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 툴을 사용하면 다양한 디바이스 유형을 최적으로 처리할 수 있는 다양한 정밀 노출 구성 (precision exposure configuration) 을 사용할 수 있습니다. FUSION M 150PC는 오염을 줄이고, 광학 왜곡을 제거하고, 높은 안정성을 제공하는 독특한 디자인을 제공합니다. 이 자산은 시간당 150 개 이상의 웨이퍼를 생산할 수 있으므로 대용량 생산에 적합합니다. 이 모델은 다양한 데이터 처리 및 매개변수 측정 기능 (parameter measurement function) 을 제공하는 고급 제어 장비를 갖추고 있습니다. 액티브 디지털 제어판 (Active Digital Control Board) 은 다양한 환경 매개변수를 처리하여 정확성과 효율성을 높일 수 있습니다. 또한 FUSION M 150 PC에는 안전 기능이 내장되어 있어 사용할 수 있는 안전한 시스템이 됩니다. 전반적으로 AXCELIS M150PC 는 강력하고 안정적인 고속 다이렉트 이미징 장치로서, 최소 수준의 오염으로 탁월한 성능, 정확성, 정확성을 제공합니다. 이 도구는 고급 머신 설계를 활용하여, 생산에 있어 탁월한 규율과 속도를 제공합니다.
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