판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619555

AXCELIS / FUSION M 150PC
ID: 293619555
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2010
Photo stabilizer, 6" 2010 vintage.
AXCELIS/FUSION M 150PC는 정밀 사진 촬영 처리를 위해 설계된 노출 장비입니다. 강력한 6축 모션 제어 플랫폼과 Up-Down TimeBase 모션 제어 기술로 구동됩니다. 이 기술을 통해 제조 공정에서 레이어 (layer) 와 패턴 배치 (pattern placement) 를 매우 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 최대 4K (Kelvin) 의 온도에 도달 할 수있는 적층 유리 창이있는 맞춤형 강력한 150W Mercury Lamp가 있습니다. 또한 매우 높은 수준의 정확성과 반복 성을 갖춘 뛰어난 광학 균일성 (optical unifority) 을 제공하는 긴 초점 거리 투영 렌즈 (projection lens) 도 포함되어 있습니다. 또한, FUSION M150PC는 사용자 친화적 인 설계로, 모든 운영자의 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 이 장치에는 고해상도 이미지 처리 기능과 고해상도 다이 (die-by-die) 정렬 기능이 있어 최적의 상세 레이어 포지셔닝 및 패턴 복제를 보장합니다. AXCELIS M 150 PC는 일관성 있는 대용량 생산을 위해 완벽하게 자동화되어 있으며, 정확성과 반복 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계에는 여러 가지 내장 안전 기능이 있습니다. 최대 성능의 공기 보호 (Air Protection), 먼지 필터 (dust filter) 가 장착되어 있으며 압력 및 열의 위험한 구축을 피하기 위해 시간 기반 도구에서 작동합니다. 첨단 자동 초점 기능을 통해 단일 샷 내에서 정확하고 정확한 조각을 배치할 수 있습니다. M150PC는 또한 모든 패턴을 정확하고 일관되게 완성하기 위해 CCD 카메라를 포함한 다양한 측정 (measuration) 및 게이징 (gauging) 기기를 갖추고 있습니다. 완전하게 자동화된 프로세스 제어 자산 (process-control asset) 은 전체 프로세스를 모니터링하며, 측정이 목표 수준에서 벗어난 경우 또는 장비가 안전 또는 품질 표준을 충족하지 못하는 경우 장비 및 경고 연산자를 중지합니다. AXCELIS/FUSION M150PC (AXCELIS/FUSION M150PC) 는 고도의 정확성과 반복성으로, 정확한 패턴화 및 레이어 배치를 가능하게 하는, 신뢰할 수 있는 고급 포토리토그래피 모델입니다. 이 제품은 사용자 친화적인 인터페이스, 안전 기능, 고해상도 이미징 기능을 갖추고 있어 대용량 (high-volume) 생산을 위한 강력한 플랫폼입니다.
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