판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150PC #293619554

AXCELIS/FUSION M 150PC 는 마이크로일렉트로닉스 분야에서 가장 까다로운 애플리케이션을 충족할 수 있도록 설계된 고급 노출 장비입니다. 이 시스템은 첨단 기술, 설계, 자동화를 통해 뛰어난 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 장치는 고급 광학 장치 (optics) 를 갖춘 고성능 빔 소스 (beam source) 에 의해 구동되어 매우 균일한 에너지 및 용량 수준의 범위를 보장합니다. 5 축 XYZ 로봇 암은 속도와 정확성을 희생하지 않고 가장 정확하고 안정적인 샘플 전달을 제공합니다. 이 기계는 또한 초고속 행렬 속도가 6ns 인 저가형 서브 미크론 스테퍼, 정확한 용량 수준 +/- 0.25%, 심도 UV 빛의 장파 노출 파장, 완전하게 자동화된 온라인 필름 제어 및 노출 최적화 모듈. FUSION M150PC는 낮은 소유 비용 및 운영 비용으로 정확하고 속도를 제공합니다. 강력하고 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 다양한 프로세스를 지원할 수 있는 유연성을 제공합니다. 정확도가 최대 0.1% 인 높은 용량 및 노출 제어를 제공합니다. 이 자산에는 프로세스 제어를 향상시키기 위한 내장 해상도 (BIST) 및 표류 보상 알고리즘과 자동화된 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 및 즉석 레시피 (On-the-fly Recipe) 를 위한 조정 가능한 프로세스 윈도우가 장착되어 있습니다. 신속한 웨이퍼 사이클 (wafer cycle) 시간 때문에 AXCELIS M 150 PC 모델은 자원을 효율적으로 활용하여 탁월한 생산성을 제공하며, 수율 증가와 함께 일관되고 안정적인 결과를 제공합니다. 또한 실시간 프로세스 피드백 (real-time process feedback) 을 사용하면 장기간의 프로세스 안정성을 보장할 수 있습니다. 이 시스템은 CE, EMC, UL 규격을 준수하며, 매우 낮은 진동 공명을 통해 다운타임을 최소화하면서 원활하고 조용하게 작동할 수 있습니다. FUSION M 150PC 는 가장 향상된 노출 시스템 중 하나이며, 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다. 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 의 생산 및 연구 응용 분야에 적합하며, 높은 처리량과 고수율 처리를 가능하게 합니다. 고급 광학 (Optic) 과 로봇 암 (Robotic Arm), 그리고 다중 사용자 친화적 인 기능으로, 모든 유형의 노출 작업에 적합한 선택입니다.