판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150 #9293753

AXCELIS/FUSION M 150은 높은 처리량 및 대형 기판을 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 고해상도 반도체 마스크 구성에서 대용량 평면 패널 디스플레이에 이르기까지 다양한 어플리케이션을 위해 고해상도 (high resolution), 저왜곡 (low distortion), 균일성 (unifority) 및 저결함성을 제공할 수 있습니다. FUSION M 150에는 고급 전자 빔 소스가 장착되어 있어 다양한 스테이지 크기가 가능합니다. (300mm ~ 1200mm) 및 기판 구성, 업계 최고의 비행 시간 (150 ns) 전자 빔 소스는 초저전력 범위에서 매우 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공하여 더 세밀한 회선 (line) 및 접촉 기하학이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 이 시스템은 사용자 정의가 가능하고, 구성이 용이하며, 사용자는 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 최상의 구성과 설치 (setup) 를 선택할 수 있습니다. 또한, 이 장치의 유연성을 통해 사용자는 자동화된 기능 인식 (automated feature recognition), 시뮬레이션 (simulation), 최적화 (optimization) 등 다양한 제어 응용 프로그램 중에서 선택할 수 있습니다. AXCELIS M150은 대형 조리개 마스크, 고밀도 레티클 등 다양한 웨이퍼 재료와 포토 마스크 (photomask) 를 지원할 수 있습니다. 또한 0.1 미크론까지 기능 크기를 지원할 수도 있습니다. 컴퓨터에는 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 기능이 장착되어 있어 사용자가 공구의 성능을 모니터링하고 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 이를 통해 보다 우수한 프로세스 제어 및 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, FUSION M150 은 신뢰할 수 있는 작업에 기여하는 여러 가지 다른 기능도 제공합니다. 고속 데이터 교환 및 네트워킹 기능을 통해 wafer alignment software, processor optimization tools 등 다양한 에셋 주변 장치와 손쉽게 작동, 지원할 수 있습니다. M150은 고품질 고급 포토 마스크 (photomask) 와 컨택터 (contactor) 에서 초거대 표면 영역의 무대기 기판에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 또한 고급 기능 (Advanced Features) 과 신뢰할 수 있는 성능 (Performance) 을 결합하면 하이엔드 반도체 장치와 대용량 디스플레이를 모두 생산할 수 있습니다.