판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150 #9287265
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AXCELIS/FUSION M 150은 기질에 정확하고 정확한 자외선 (UV) 또는 사진 반응 화학 물질을 전달 할 수있는 노출 장비입니다. 이 시스템은 일련의 복잡한 구성 요소와 메커니즘을 활용하여 안정적이고 반복 가능한 노출을 보장합니다. FUSION M 150은 고급 노출 구성 요소를 여러 개 설치할 수 있는 모듈식 플랫폼입니다. 이러한 구성 요소에는 소스 및 기판 기판, 환경 센서 모듈, 컨트롤러 장치 등이 있습니다. 소스 및 기판 기판을 사용하면 장치 (unit) 가 노출 용량 및 노출 각도를 정확하게 조정하여 최적의 정확도를 얻을 수 있습니다. 이것 은 "기질 '이 정확 한 방법 으로 화학 물질 에 노출 되도록 한다. 환경 센서 모듈 (Environmental Sensor Module) 은 센서를 사용하여 온도, 습도, 공기 흐름 및 기타 매개변수와 같은 환경 조건의 변화를 감지합니다. 이를 통해 머신은 각기 다른 배치 (batch) 에 걸쳐 일관된 결과를 얻을 수 있으며, 환경 변동으로 인한 물질 분해 위험을 줄일 수 있습니다. 컨트롤러 장치 (Controller Unit) 는 AXCELIS M150 의 핵심이며 툴에 전원 공급, 노출 주기 제어, 자산 성능 모니터링, 실시간 피드백 및 경고 기능을 제공합니다. 또한, 컨트롤러를 사용하면 모델 설정에 액세스하고, 자동 노출 주기에 맞게 매개변수를 조정할 수 있습니다. M150 (M150) 은 사용자가 최소한의 노력을 기울여 정확하고 반복적으로 노출할 수 있도록 설계된 안정적이고 고급 (Advanced) 노출 장비입니다. 다른 배치 (batch) 에 걸쳐 일관된 결과를 얻을 수 있으며, 물질 분해 위험을 최소화합니다. 이 시스템은 수작업 (manual adjustment) 을 필요로 하지 않는 정확하고 반복 가능한 노출을 찾는 사람들에게 적합합니다.
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