판매용 중고 AXCELIS / FUSION M 150 #193148

AXCELIS/FUSION M 150 은 빠르고 안정적인 방식으로 여러 다이 (die) 크기를 지원하도록 설계된 다중 방향 노출 장비입니다. 이 시스템은 석영, 금속, 플라스틱 등 다양한 유형의 기판에서 웨이퍼 평면을 제공합니다. 이 장치에는 기판을 빠르고 정확하게 정렬 할 수있는 특별한 2 축 모션 머신이 있습니다. X-Y 모션과 로터리 모션의 조합을 통해이 도구는 멀티 다이 웨이퍼 (multi-die wafer) 애플리케이션을 위한 유연한 솔루션을 제공합니다. FUSION M 150 자산은 강력한 모듈식 아키텍처를 사용하여 노출 프로세스에 대한 고급 제어를 제공합니다. 2 개의 Step-Motor 선형 서보 모터로 구동되며 고속 기판 동작을 효과적으로 처리 할 수있는 고급 프로그래밍 가능한 벡터 드라이브를 갖추고 있습니다. 독보적인 설계는 원하는 노출 프로세스를 위한 최고의 제어 (control) 와 유연성을 제공하며, 각 기판의 요구 사항에 맞게 완벽하게 구성할 수 있습니다. 이 모델은 또한 특허받은 가변 압력 장비 (Variable Pressure Equipment) 를 장착하여 원하는 노출 균일성을 관리하기위한 궁극적 인 솔루션을 제공합니다. 조절 가능한 압력으로, 시스템은 기판 뒤틀림의 영향을 제거하면서 최적의 압력 수준을 유지할 수 있습니다. 이 장치에는 기판의 상단 및 하단 표면에 있는 압력을 독립적으로 제어하는 이중 영역 제어 머신 (dual-zone control machine) 이 있습니다. AXCELIS M150 에는 고급 다이 매핑 툴 (Advanced Die Mapping Tool) 이 장착되어 있어 운영자에게 전체 이미지에 대한 메타데이터 요약 또는 모든 기판면에 대한 다이 (Die) 를 완벽하게 제공합니다. 이는 노출 프로세스의 정확성과 일관성을 보장하는 데 도움이됩니다. 자산은 또한 광범위한 노출 각도를 달성 할 수 있습니다. 고성능 광학 장치 (Optics Selection) 를 사용하면 0 ° 에서 60 ° 사이의 각도로 노출하여 더 큰 명암과 해상도를 얻을 수 있습니다. 이것은 다양한 상호 연결 및 기타 회로 요소의 제작에 적합합니다. AXCELIS/FUSION M150 은 고객의 개별 요구 사항을 충족하고 탁월한 성능을 제공할 수 있도록 완벽하게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 다양한 설계 요구사항이 있는 모든 기판 (substrate) 표면에 이상적인 선택입니다. 까다로운 애플리케이션의 요구 사항을 정확하고 일관되게 충족할 수 있으므로 모든 애플리케이션에 적합한 '다중 방향 노출 (multi-direction exposure)' 모델이 됩니다.