판매용 중고 AXCELIS / FUSION K250 #9411433

AXCELIS/FUSION K250은 IC 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 노출 장비입니다. 이 시스템은 독점적 인 스테퍼 모터 유닛 (stepper motor unit) 과 광학 (optics) 을 사용하여 0.45 äm 정도의 고해상도 노출을 제공합니다. 또한, 스테퍼 모터는 높은 정확도 정렬이 가능하며, 위치 정확도는 1.5 äm입니다. 이 기계는 모듈식 설계를 통해 다양한 어플리케이션을 손쉽게 업그레이드, 사용자 정의할 수 있습니다. 따라서, IC 웨이퍼의 고급 처리를 위해 신뢰할 수있는 도구입니다. FUSION K250에는 4 "(100mm) 공기 베어링 플레이트가있는 웨이퍼 회전 스테이지가 있으며 5.5mm x 5.5mm에서 9.5mm x 9.5mm까지의 스캔 영역을 제공합니다. 웨이퍼 스테이지는 또한 특허를받은 수직 정렬 메커니즘을 특징으로하여 정확성과 수명을 보장합니다. 또한 스테퍼 모터와 광학을 제어하여 노출 과정의 안정성을 제공하는 독특한 "공기 펜싱 (air-fencing)" 도구가 있습니다. 노출 자산에는 고성능 FUSION 광학이 장착되어 있으며, 이는 44m의 필드 크기, 0.2 초의 노출 시간, 최대 10W/cm2의 노출 용량, 우수한 입자 감소 필터 및 기타 기능을 자랑합니다. 또한 광 구성 (Optical Configuration) 을 통해 처리량이 증가하여 운영 운영에 이상적인 툴이 됩니다. AXCELIS K250은 가능한 한 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 일괄 처리 (batch) 및 단일 포트 레시피 (single-port recipe) 로드가 가능하며 편리한 메뉴 모델이 제공됩니다. 또한, 100 개가 넘는 노출 레시피 라이브러리가 제공되어 설정을 쉽게 저장, 검색할 수 있습니다. 이 장비에는 산소 (oxygen) 와 질소 (nitrogen) 라는 2 개의 염기 공정 기체가 있으며, 이는 photomask 오염을 방지하기 위해 사용자 정의 레시피에 사용됩니다. 또한, "시스템 '은 고급 수분 제거 장치 를 갖추게 되어 노출 된" 웨이퍼' 표면 의 건조 를 보장 한다. K250은 업계 최고의 기술 외에도 탁월한 기술 지원을 제공합니다. 전문 엔지니어는 연중무휴 24 시간 전화를 받고 있으며, 전화, 이메일 또는 회사 웹 사이트를 통해 연락할 수 있습니다. 전반적으로 AXCELIS/FUSION K250 노출 시스템은 IC 웨이퍼 처리를 위한 최첨단 도구입니다. 빠른 노출 시간, 고해상도 이미징, 우수한 하드웨어, 옵틱, 탁월한 지원을 제공합니다. 따라서 IC 운영 운영에 완벽한 선택입니다.