판매용 중고 AXCELIS / FUSION K250 #9411432

AXCELIS/FUSION K250은 반도체 산업을 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 250 와트의 고해상도 레이저, 정확하고 반복 가능한 모션 컨트롤, 고정밀 웨이퍼 위치 제어를 위한 공기 베어링 스테이지가 특징입니다. 이 시스템은 정밀한 선 패턴과 최대 1 미크론 크기의 패턴을 생성 할 수 있습니다. FUSION K250은 베어 (bare) 또는 코팅 된 웨이퍼, PCB, 하이브리드 회로 장치 등 다양한 기판에 고해상도 및 정밀한 석판 이미지를 제공 할 수 있습니다. 이 장치에는 편리하게 정렬하고 처리할 수 있도록 대용량 작업 범위 (work envelope) 를 제공하는 컴팩트 (compact) 디자인이 있습니다. 250 와트 레이저는 최고 품질의 이미징을위한 밝은 조명 소스를 제공합니다. AXCELIS K250 의 동작 제어는 매우 정확하고, 반복 가능하며, 최대 1 미크론 크기의 선 패턴과 패턴을 생성 할 수 있습니다. 기계는 정확하고 반복 가능한 노출을 보장하기 위해 가변 속도 제어를 제공합니다. 저속 해상도는 100 나노 미터이고 고속 해상도는 45 미크론입니다. 이것 은 가장 복잡 한 "패턴 '까지도 생산 할 수 있게 해 주며, 매우 정확 하다. K250의 공기 베어링 (air bearing) 단계는 뛰어난 웨이퍼 포지셔닝 정확성과 반복성을 제공하여 정확하고 정확한 패턴화 작업을 지원합니다. 이 도구는 고유한 듀얼 스테이지 (dual stage) 설계를 사용하여 다른 후속 프로세스 단계에 맞게 성능을 최적화하여 효율성을 극대화합니다. AXCELIS/FUSION K250의 XY 단계는 매우 정확하여 모든 방향으로 최대 속도 400mm/s를 제공합니다. 이 단계는 온도 조절이 가능하며, 긴 노출 및 고온 환경에서 안정적이고 일관된 이미징 결과를 제공합니다. 또한, 에셋은 여러 패턴 레이어와 패턴 자동 정렬을 지원합니다. 결론적으로 FUSION K250은 반도체 산업을 위해 설계된 고급 노출 모델입니다. 250 와트의 고해상도 레이저, 정확하고 반복 가능한 모션 컨트롤, 고정밀 웨이퍼 위치 제어를 위한 공기 베어링 스테이지가 제공됩니다. 장비는 정밀한 선 (line) 패턴과 최대 1 미크론 크기의 패턴을 생산할 수 있습니다. 고품질, 안정성, 효율성을 갖춘 이미징 시스템을 원하는 제조업체에 적합한 솔루션입니다.