판매용 중고 AXCELIS / FUSION K250 #9411430

AXCELIS/FUSION K250 (AXCELIS/FUSION K250) 은 다양한 디바이스 기술의 프로세스 개발 및 생산을 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 이 시스템은 최적화되고 현장에서 검증된 디지털 섀시를 통해 탁월한 정확성과 반복성 (repeatability) 을 제공하므로 최신 반도체 디바이스를 보다 빠른 속도와 신뢰도 (F.A.S.T.) 로 빠르고 쉽게 출시할 수 있습니다. 이 장치에는 통합 Accu-Litho 디지털 리소그래피 프로세스 (digital lithography process) 와 타의 추종을 불허하는 기능 세트 (feature set) 가 있어 고객은 최고의 정확성과 반복성 수준으로 프로세스 생산성을 달성할 수 있습니다. Accu-Litho 디지털 리소그래피 (digital lithography) 프로세스는 일련의 패턴을 사용하여 원하는 디자인을 기판으로 전송하는 원리로 작동합니다. 이 방법을 사용하면 원하는 패턴이 오류 없이 기판으로 정확하게 전송됩니다. 머신의 고유 한 피쳐 세트 (feature set) 에는 노출 챔버의 정렬 및 포커스를 조정하여 최상의 결과를 제공하는 자동 자체 수정 도구 (automated, self-correcting tool) 가 포함됩니다. 이 기능 은 또한 "디자인 '의 변화 를 위해" 챔버' 를 신속 히 조정 할 수 있게 하는 장점 을 제공 한다. FUSION K250에는 고해상도 디지털 웨이퍼 스테이지가 장착되어 있으며, 이미지 처리 및 자동 웨이퍼 등록이 가능합니다. 이 기능을 사용하면 에셋이 기판을 정확하게 등록하고 캡처하는 디지털 이미지 (digital image) 를 통해 노출을 조준할 수 있습니다. 이 모델에는 고급 플랫폼 (Advanced Platform) 이 장착되어 있어 정확성뿐만 아니라, 선택한 장비에 대한 효율적인 액세스 기능을 제공합니다. 또한 이 플랫폼은 여러 트레이를 제어하고 프로세스 단계의 변경 (change) 을 구현하여 성능 향상 (performance) 과 같은 향상된 기능을 제공합니다. AXCELIS K250 은 프로세스의 품질 관리 및 최적화를 위한 데이터를 수집하는 내장형 고속 데이터 수집 유닛을 갖추고 있습니다 (영문). 이 장비는 신뢰할 수 있는 선형 (Linear) 및 회전 (Rotary) 모션 드라이브로 구동되므로 원하는 구성을 쉽게 선택하고 완벽한 정확성과 반복성을 얻을 수 있습니다. 마지막으로 K250 은 자동화된 정렬, 초점 최적화, 포괄적인 추적 가능성, 포괄적인 장치, 프로세스 자동화 제어 (예측 유지 관리 기능 포함) 등 다양한 고급 소프트웨어 기능을 제공합니다. 이 시스템은 또한 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 장치 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. AXCELIS/FUSION K250 (AXCELIS/FUSION K250) 은 최신 반도체 디바이스를 더 빠른 속도와 신뢰성으로 출시하도록 설계된 고급 노출 머신입니다. 통합된 Accu-Litho 디지털 리소그래피 프로세스, 고급 플랫폼 (Advanced Platform), 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 탁월한 정확성과 반복성으로 프로세스 수익률을 빠르게 달성할 수 있습니다.