판매용 중고 AXCELIS / FUSION I250B #9411427

AXCELIS/FUSION I250B는 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 전자 부품 생산을 위해 석판 인쇄 회로와 마이크로 기능을 생산하도록 설계된 노출 장비입니다. 이 시스템은 고급 소프트웨어/하드웨어 기술을 사용하여 반도체 (semiconductor) 장치 생산을 위한 비용 효율적이고 생산성이 높은 플랫폼을 제공합니다. 장치의 핵심은 300mm FUSION 도구입니다. AXCELIS 노출 머신은 칼리나 (Kalina) 와 넥서스 (NEXUS) 기술의 독특한 조합을 활용하여 다양한 복잡한 패턴 모양과 크기로 고해상도 이미지를 생성합니다. 여기에는 선형 패턴, 자유형 패턴 및 3 차원 구조뿐만 아니라 매우 세밀한 선 폭도 포함됩니다. 이 도구는 최소 125nm 크기의 스캔 노출과 서브 미크론 정밀도 (sub-micron precision) 를 사용하여 오버레이를 배치 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 전통적인 포토 마스크 (photomask) 가 필요하지 않고 높은 충실도 패턴을 생성 할 수있는 다수의 고급 마스크 없는 리소그래피 시스템을 포함합니다. 여기에는 좌표 기반 근거리 이미징 기술 인 C3D 및 광학 렌즈 없이도 고해상도 이미징 (Hybrid Imaging) 을 제공 할 수있는 Hybrid 몰입이 포함됩니다. 또한, 이 모델은 광범위한 저항 물질과 화학 물질을 수용하도록 설계되었습니다. 여기에는 i-line 및 g-line photoresist와 접촉 저항 및 etch 저항이 포함됩니다. 사용자 친화적 제어 (User-Friendly Control) 장비를 사용하면 광범위한 에너지 및 강도 설정에서 용량 및 노출 시간을 조절할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 새로운 프로세스 응용 프로그램의 개발 프로세스를 단순화합니다. 여기에는 다중 단계 프로세스의 시퀀싱 프로그래밍을 가능하게 하는 "하이브리드 작업 (Hybrid Job)" 장치, 빠른 프로세스 설정을위한 "작업 캡처 (Job Capture)" 와 같은 기능이 포함됩니다. 이 기계에는 자동 패턴 측정 및 분석 기능도 있습니다. 이 도구는 다른 생산 장비와 함께 자율적으로 작동 할 수 있습니다. 이 제품은 기존 공장 환경으로의 통합을 위한 유연한 프레임워크 (Framework) 를 제공하며, 품질 표준 (Quality Standard) 을 충족하도록 제조되었습니다. 이를 통해 장기적인 안정성과 제품 반복성을 보장하여 FUSION I250B 는 대용량 패턴 회로 (patterned circuit) 를 생산할 수 있는 안정적이고 경제적인 툴이 됩니다.