판매용 중고 AXCELIS / FUSION I250B #9411424

AXCELIS/FUSION I250B는 반도체 업계의 연구 및 제조 애플리케이션을 위해 설계된 고성능 노출 장비입니다. 직관적이고, 사용자 친화적인 인터페이스와 고급 이미지 처리 기술 (Advanced Image Processing Technology) 을 통해 다양한 애플리케이션의 처리량과 일관성을 보장합니다. FUSION I250B는 노출 소스, 투사 광학 및 스테퍼/스캐너 시스템으로 구성됩니다. 노출 소스 (Exposure Source) 는 프로그래밍된 패턴으로 생성된 광원 (Light pattern) 을 방출하여 필요한 모든 피쳐를 포함하는 픽셀 필드를 생성합니다. 그런 다음, 투영 광학은이 패턴을 높은 정밀도와 정확도로 기판 표면에 투영합니다. 스테퍼/스캐너 (stepper/scanner) 장치는 기판 서피스를 투영된 패턴으로 패턴화하는 데 필요한 정밀도 스캔을 제공합니다. 이 기계 는 "패턴 '이 기판 에 정확 하고 정확 하게 형성 되도록 한다. AXCELIS I250B 의 주기 시간은 6 ~ 10 초이며, 최대 처리량은 시간당 2000 개 이상입니다. 해상도는 1 äm보다 좋고, 반복 성은 0.1 äm 이내로 석판 응용에 적합합니다. I250B는 또한 견고하고 내구성이 뛰어난 설계를 갖추고 있으며, 구성 요소는 백만 건 이상의 노출로 평가됩니다. 이 도구에는 자동화된 기판 활성화 (Substrate Activation) 및 정렬 기능 (Alignment Feature) 이 있어 생산 중 문제를 방지할 수 있습니다. 또한, 프로세스 매개변수를 제어하고 정확한 패턴 배치를 달성하는 데 도움이 되는 심층 보정 (in-depth calibration) 기능이 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 기능을 통해 노출 과정의 복잡성을 줄일 수 있습니다. 간단히 말해서, AXCELIS/FUSION I250B는 기판 표면에 균일하고, 정확하고, 정확한 패턴 배치를 가능하게 하는 고급 노출 자산입니다. 사용자 친화적 인터페이스, 자동화된 기판 활성화 (automated substrate activation), 심층적 보정 (in-depred calibration) 기능과 같은 독보적인 기능을 통해 시장에서 가장 안정적이고 효율적인 노출 시스템 중 하나입니다.