판매용 중고 AXCELIS / FUSION Gemini 200PCU/P #9103139

FUSION Gemini 200PCU/P 장비는 뛰어난 이미징 기능과 매우 정확한 오버레이 성능을 제공하는 초고정밀 노출 시스템입니다. 이 장치는 가장 복잡하고 작은 피치 (small-pitch) 장치를 처리하도록 최적화되었으며, 가장 뛰어난 기능은 0.02 미크론 (micron) 만큼 작은 오버레이 정렬 마크를 정확하게 이미징 및 정렬하는 기능입니다. 이 기계에는 이중 가격 보상이있는 자동 레벨 링 테이블 (Auto Leveling Table) 이 장착되어 있어 높이의 작은 변화를 더 일관되게 만들 수 있습니다. 이 첨단 기술을 통해 최고의 오버레이 정확도를 달성하기 위해 효과적인 이미징 (imaging) 을 보장합니다. 수직 (vertical) 및 수평 (horizontal) 스캐닝 단계는 모두 최적의 정확성과 빠른 처리 속도를 위해 설계되었습니다. 수직 단계는 최대 가속 1G 및 최대 속도 400mm/s의 50nm 해상도를 갖습니다. 수평 스테이지의 해상도는 0.003 미크론, 최대 가속도는 5G, 최고 속도는 250mm/sec입니다. 두 단계 모두 디지털 토크 (digital torque) 모터가 있으며 전체 노출 과정에서 매우 정확한 정렬을 유지하도록 설계되었습니다. 이미징의 경우, 이 도구는 500W 녹색 레이저와 최첨단 가시 정렬기를 사용합니다. 이를 통해 미세 피치 (fine-pitch) 장치에 대한 다양한 노출 설정을 통해 영상을 깨끗하게 정리할 수 있습니다. 프로세서에는 향상된 이미징 제어 (Imaging Control) 및 자동 노출 (Auto-Exposure) 에셋이 제공되므로 노출 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 모델에는 열 관리 (thermal management) 기능이 내장되어 있어 장비 성능에 영향을 줄 수있는 열 스트레스가 감소합니다. 열 환경이 안정적으로 유지됨으로써, 이 시스템은 열 관련 오류 발생을 줄이는 데 도움이 됩니다. Gemini 200PCU/P 장치는 친환경 방식으로 작동하도록 설계되었습니다. 저소음 디자인 (low-noise design) 을 가지고 있으며, 배출의 환경 영향을 줄이기 위해 탄소 필터 머신을 갖추고 있습니다. AXCELIS 의 Gemini 200PCU/P 툴은 전체적으로 미세 피치 (Fine-Pitch) 장치에서 매우 정확한 정렬 마크 오버랩을 달성하기 위한 탁월한 툴입니다. 고급 이미징 기능, 우수한 열 관리 자산 (thermal management asset), 놀라운 정확성 등을 갖춘 이 모델은 모든 맞춤형 칩 생산 설비 (custom chip production facility) 에 귀중한 자산이 될 것입니다.