판매용 중고 AXCELIS / FUSION F 300 Series #132416

AXCELIS/FUSION F 300 시리즈는 리소그래피, 증착 및 에칭 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 프로버 스테이션입니다. 이 장비는 높은 정확도를 유지하면서 최대의 유연성과 효율적인 프로세스 처리량을 제공하는 모듈식 (modular) 설계를 제공합니다. 다재다능성은 연구 개발 (Research and Development) 에서 생산 (Production) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 직관적인 툴을 갖춘 소프트웨어 제어 플랫폼을 기반으로 하는 FUSION F 300 시리즈는 전문가의 수준의 프로세스 제어 기능을 제공하며 프로세스 통합, 개발, 배포를 간소화합니다. AXCELIS F 300 시리즈는 기판의 정확한 이동을 위해 선형 드라이브, 음성 액추에이터 및 정전기 클램핑을 포함하는 6 축 스테이지 아라베스크를 특징으로합니다. 또한 고급 오버레이 모니터링 (overlay monitoring) 및 마킹 (marking) 기능을 제공하여 축을 벗어난 정렬 오류를 빠르고 쉽게 수정할 수 있습니다. 이 시스템에는 매우 민감한 이중 뷰 검출기 (dual-view detector) 와 인라인 필터 휠 (inline filter wheel) 이 포함되어 있어 진동, 온도 및 기압과 같은 환경 변화에 대처할 수있는 정밀한 적응 형 감지가 가능합니다. F 300 시리즈는 기존 하드웨어/소프트웨어 자원을 활용하여 기존 프로세스에 완벽하게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 간편한 탐색 및 프로세스 설정 기능을 제공하는 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 AXCELIS/FUSION F 300 Series 를 사용하면 보다 지능적인 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 또한 정렬 오프셋, 필터 극성, 수정 모드, 결함 임계값 등 최종 사용자 조정 가능 매개변수가 제공됩니다. 이 장치는 시스템/서브시스템 안정성을 자동으로 감지하고 전원 손실 및 기타 환경 문제 (환경 문제) 의 경우 기본 설정으로 돌아가서 데이터 손실/손상 (data loss and corruption) 으로부터 추가로 보호됩니다. FUSION F 300 시리즈는 리소그래피, 에치 (etch), 증착 프로세스의 까다로운 전기적 요구를 충족시키기 위해 설계된 견고한 고성능 도구입니다. 견고한 구성 및 통합 구성 요소는 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 다양한 기능과 기능을 갖춘 AXCELIS F 300 시리즈는 고밀도, 고해상도 리소그래피, 증착 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.