판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9314705

AXCELIS/FUSION 200 PCU는 다양한 평면 패널 디스플레이 어플리케이션을 위해 설계된 노출 장비입니다. 다양한 평면 패널 디스플레이를 위한 탁월한 수준의 제어, 정확성, 반복성, 재현성을 제공하는 정교한 PC 제어 시스템입니다. 수평 및 수직 평면 모두에서 미크론 수준의 해상도와 높은 균일성을 제공합니다. 이 장치는 Mask Aligner, Digital-to-Analog Converter 및 Controller의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 마스크 정렬 (Mask Aligner) 은 마스크 위치의 세밀한 세부 사항을 높은 정확도로 제어하는 고정밀 광학 기계입니다. Digital-to-Analog Converter (디지털 아날로그 변환기) 는 Controller와 Mask Aligner 사이의 인터페이스로, 사용자 정의 마스크 설계를 허용합니다. 컨트롤러 (Controller) 는 공구의 핵심이며, 노출 프로세스의 모든 측면을 제어하는 역할을 합니다. FUSION 200 PCU는 노출 자산의 성능에 대한 환경 조건의 영향을 최소화하도록 설계되었습니다. 특정 온도와 습도로 교정 된 환경은 모델에 의해 유지되며, 피폭은 안정성 (stability) 을 확인하기 위해 테스트됩니다. 이 장비는 또한 마스크 제작을 위한 모니터링 기능이 내장되어 있으며, 노출 설정을 프로세스 내 (in-process) 검증할 수 있습니다. 신뢰할 수 있고, 사용자 친화적인 이 시스템은 맞춤형 운영 장치를 실행하는 PC로 구동됩니다. PC에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface), 표준 마스크 및 레시피 라이브러리 (Library of Standard Mask and Recipe), 사용자 정의 노출이 가능한 레시피 개발 프로그램 등 다양한 기능이 있습니다. 정확한 이미지 처리를 위해 AXCELIS 200PCU는 정확한 노출 후 개발 최적화를 제공합니다. 고정밀도 노출 설정, 정밀한 그레인 제어, 높은 반복성 및 낮은 그레인 시프트 (grain shift) 를 조합하여 최적화를 달성합니다. 정확한 노출 후 개발 처리는 정확한 디스플레이 수렴과 강도의 균일성을 가능하게합니다. 결국, AXCELIS/FUSION 200PCU는 노출 후 개발 최적화를 통해 정확하고 정확한 노출을 제공하도록 설계된 최첨단 노출 기계입니다. 다양한 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 어플리케이션에 적합한, 신뢰할 수 있는 사용자 친화적 도구입니다. 에셋은 정확한 마스킹, 정확한 곡물 제어, 낮은 곡물 이동, 정확한 노출 후 개발 최적화, 강도의 균일성을 제공하여 평면 패널 디스플레이 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.