판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9258172

AXCELIS/FUSION 200 PCU는 반도체 업계의 웨이퍼 제작을 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 최첨단 옵틱과 최신 마이크로컨트롤러 (Microcontroller) 및 자동화 (Automation) 를 결합하여 높은 품질의 결과를 제공하므로 효율성이 향상됩니다. FUSION 200 PCU 시스템은 균등하고 정확한 노출을위한 가변 모양의 슬릿 조명을 가진 고급, 고 정밀 광학 장치를 가지고 있습니다. 또한 듀얼 슬릿 투영 열 (dual slit projection column) 과 다중 슬릿 (multiple slit) 옵션을 통해 전체 웨이퍼에 대한 노출 각도 및 초점 깊이를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 광학은 전천후, 자동화 된 환경 격리기에 의해 주변 빛과 먼지로부터 보호됩니다. AXCELIS 200PCU 는 자동 빔 및 에지 정렬이 포함된 고급 웨이퍼 등록 툴을 갖추고 있습니다. 또한 초점 (focus) 및 이미지 동작 제어 시스템이 매우 정확하여 노출 중 정확성과 반복성이 향상됩니다. 또한 FUSION 200PCU에는 완전 자동 노출 노출 정렬, 노출 드리프트 수정 및 다이 투 다이 기판 정렬 등 다양한 자동 기능이 있습니다. 따라서 이미지와 웨이퍼 (wafer) 를 빠르고 정확하게 처리하여 최소한의 변동 (variation) 과 최소한의 폐기물로 처리량을 높일 수 있습니다. AXCELIS/FUSION 200PCU에는 또한 프로그래밍 가능한 마스크 라이브러리와 통합 AI 분석 자산이 있어 효율성과 정확성을 극대화합니다. 또한 다양한 이미징 도구 (Imaging Tool) 와 프로그램 (Program) 을 활용하여 이미지와 웨이퍼가 적절한 프로세스 매개변수에 노출되도록 합니다. 200PCU에는 최첨단 사용자 인터페이스가 제공됩니다. 여기에는 간편한 색상 코드 그래픽 사용자 인터페이스, 데이터 전송 및 진단을 위한 USB 연결, 손쉬운 작동을 위한 10키 (membrane) 키보드 등이 포함됩니다. 전반적으로, 200 PCU는 반도체 업계의 웨이퍼 제조를 위해 고급적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고급 Optic, Automation, User Interface 를 함께 사용하면 효율성과 처리량을 높여 정확하고, 반복 가능하며, 오류 없는 결과를 얻을 수 있습니다.