판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9238497

AXCELIS/FUSION 200 PCU는 반도체 업계에서 사용하도록 설계된 고급 노출 장비입니다. 이 시스템은 고품질 생산 결과를 위해 중요한 노출 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 제품은 웨이퍼, 레이어, 샘플을 신속하게 처리할 수 있도록 설계되었으며, 배율, 초점, 용량, 에너지 등의 중요한 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 통합 된 전동 제어 장치 (Motorized Control Machine) 와 동력 샘플 홀딩 도구 (Motorized Sample Holding Tool) 가 있으며, 샘플 정렬 및 처리를 정확하게 제어하여 프로세스 관련 문제를 최소화하면서 빠른 처리 시간을 허용합니다. 이 자산은 높은 처리량, 정확한 샘플 포지셔닝, 정확한 용량 측정, 제어 (control) 를 통해 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. FUSION 200 PCU에는 자동 웨이퍼, 샘플 로드 및 정렬 루틴, 용량 제어 루틴, 자동 데이터 획득 및 분석 루틴 등 많은 자동 기능이 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 중요한 프로세스 변수를 보다 효율적으로 제어하고, 해당 응용 프로그램의 모델을 사용자 정의할 수 있습니다. 장비는 4 인치에서 1 미크론까지 광범위한 웨이퍼 및 샘플 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한 상단 (top) 및 하단 (bottom) 서피스 모두에서 샘플을 처리할 수 있습니다. 이 시스템은 강력한 성능을 제공하여 처리 속도가 빠르고 결과가 정확합니다. 또한, 소프트웨어는 자동화된 웨이퍼 (wafer) 또는 샘플 처리 및 정렬을 위해 시스템을 쉽게 통합 할 수 있습니다. AXCELIS 200PCU는 전자, X- 선, 가시 광선, 이온 빔과 같은 다양한 노출 소스와 함께 사용하도록 설계되었습니다. 이 장치는 동기식 노출 (synchronous exposure) 을 처리하여 사용자가 한 번에 여러 레이어를 처리할 수 있습니다. 이 기계에는 다중 축 (multi-axis) 샘플 포지셔닝 툴이 포함되어 있어, 사용자가 노출 과정에서 샘플을 정확하게 배치할 수 있습니다. 이 자산은 사용자를 보호하기 위해 안전 기능으로도 설계되었습니다. 저전력 안전 (Low-Power Safety) 스위치는 전원 서지가 감지되면 모델을 종료하고, 필요한 경우 신속하게 장비를 종료할 수 있는 비상 정지 (Emergency Stop) 스위치를 갖추고 있습니다. 전반적으로 AXCELIS/FUSION 200PCU 는 프로세스 관련 문제를 최소화하면서 중요한 매개변수를 정확하게 제어할 수 있는 고급 노출 시스템입니다. 높은 처리량, 정확한 데이터 획득 및 분석 루틴으로 인해 반도체 업계에 적합한 툴이 됩니다.