판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235771

AXCELIS/FUSION 200 PCU 는 다양한 업종을 위한 다양한 자료를 처리할 수 있도록 설계된 고급 노출 장비입니다. 이 시스템은 열 전달을 개선하고, 균일 한 웨이퍼 커버리지를 제공하고, 최소한의 유지 보수로 장거리 (long run) 을 허용하도록 설계된 대형 챔버를 갖추고 있습니다. 이 장치는 실리콘, 질화 갈륨, 다이아몬드, 석영 등을 포함한 다양한 기질과 호환됩니다. 이 기계에는 EasyLoadTM Wafer Handler, 소형 로드 로커 및 200 와트 X-Ray 소스가 포함됩니다. 초고정밀 스캐너 (Ultra-High-Precision Scanner) 는 장치 및 전체 프로세스 제어의 정확한 이미징을 최대 5nm 해상도로 보장합니다. 독특하고 혁신적인 Cold Target X-Ray Source (Cold Target X-Ray Source) 는 고급 에너지 분산 어레이를 사용하여 전기 튜닝 가능한 스펙트럼을 웨이퍼 표면에 정확하게 투영합니다. 이 도구에는 또한 전자 레인지 소스 (microwave source) 가 포함되어 있으며, CVD 및 확산을 포함한 많은 프로세스에 대해 전체 웨이퍼 위에 빠르고 균일 한 베이킹을 제공합니다. 통합 유압 차단 로봇 자산은 웨이퍼 처리 시간을 1 분 미만으로 줄입니다. 그 "로봇 '은 또한" 챔버' 로부터 공기 청소 단계 를 밟아 별도 의 청소실 로 보내어 입자 와 수분 오염 을 감소 시킨다. 이 모델은 리소그래피, 고온 연간 (high temperature anneal), 습식 (wet etch) 및 금속 증착 (metal deposition) 을 포함한 다양한 프로세스에 대한 다양한 프로세스 매개변수를 제공합니다. Process Control Software는 장비의 모든 구성 요소를 모니터링하고, 조정하고, 안내하여 일관된 결과를 제공합니다. 이 소프트웨어는 또한 사용자 정의 프로세스와 소프트웨어 도구에 탁월한 유연성을 제공하여 사용자 정의 (custom-designed) 레시피를 용이하게 합니다. 이 시스템에는 기압 모니터, 진공 모니터, 가스 탐지기, 입자 센서, ESD 검출기, 호 탐지 장치 등 다양한 안전 장치가 장착되어 있습니다. 이 장치는 유해 물질에 대한 노출을 최소화하고, 방사선 노출의 위험을 최소화하고, 전기 충격의 위험을 최소화하도록 설계되었습니다. 또한 810-2007과 관련하여 방사선 차폐 보호를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 다재다능하며 마이크로 일렉트로닉스, 광전자, 의료, 자동화, 항공 우주 등 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다. 품질 및 안전 설계 (Quality and Safety Design) 를 통해 프로세스에서 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 폭넓은 기능과 어플리케이션을 갖춘 FUSION 200 PCU 는 최고의 수준의 노출 요구 사항을 충족하는 탁월한 선택입니다.