판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235770

AXCELIS/FUSION 200 PCU는 반도체 장치 제조 및 마이크로 일렉트로닉스를 위해 특별히 설계된 노출 장비입니다. 중간에서 고출력 생산까지 정확하게 제어할 수 있으며, 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 이 시스템은 광전자, MEMS, 광전자, LED 등 다양한 장치를 제작하고 테스트하는 데 적합합니다. FUSION 200 PCU에는 200 와트, 초전력 레이저 소스, 13 위치 웨이퍼 스테이지 및 3 개의 독립적 인 초점 광학 (CO2, NIR 및 UV) 이 있습니다. 이 제품은 두 가지 로딩 옵션 (액티브 로봇 (Active Robot) 및 수동 로딩 (Manual Loading)) 을 제공하며 최적의 프로세스 조건을 유지하기 위해 온도 변동에 대응하도록 설계된 최신 열 장치를 갖추고 있습니다. AXCELIS 200PCU 는 초정밀 Z축 (Motorized Z축) 을 장착하여 최고의 정밀 정렬 및 맞춤형 반복 기능을 제공합니다. 폐쇄 루프 (closed-loop) 모션 제어 기능과 통합 계측은 레이저 노출 용량을 강력하고 정확하게 제어하는 데 기여합니다. 사용자는 레이저 빔 모양 및 셔터, 스캐닝 속도, XY 이동 등을 포함하여 노출 프로세스 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한 잠재적 인 오류로부터 보호하기 위해 안전 기능이 내장되어 있습니다. 200PCU는 다양성이 높으며, 다양한 크기의 포토리스트, 기타 재료 및 기질에 균일하고 빠르게 노출됩니다. 타사 및 FUSION 자체 소프트웨어 솔루션과 호환되며 다양한 유형의 자동화 (automation) 설정에 맞게 설계될 수 있습니다. AXCELIS 200 PCU 는 산업 애플리케이션을 위한 고급적이고 효율적인 노출 툴입니다. 최첨단 기술과 사용자 정의 기능이 뛰어난 옵션으로, 탁월한 성능과 빠른 운영 시간을 보장합니다. 대용량 (high volume) 및 복잡한 사진 리스토그래픽 및 이미징 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.