판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235769

AXCELIS/FUSION 200 PCU는 반도체 칩 생산을 위해 설계된 고성능 노출 장비입니다. 컴팩트하고 다재다능한 디자인으로, 여러 가지 고유한 요구 사항을 신속하게 처리할 수 있습니다. 이 시스템은 균일 한 조명 분야, 온도 조절을위한 후드 플레 넘 (hood plenum), 웨이퍼/이미지 플레이트 지원 및 전송을위한 컨베이어 구동 캐리어, 데이터 모니터링 및 캡처를위한 여러 카메라로 구성됩니다. 노출 헤드는 알루미늄 및 아연-알루미늄 합금으로 구성되며, 전 분야에서 우수한 조명을 제공하면서 균일 한 조명 분야를 제공하는 고효율 조명 장치 (HIS) 를 갖추고 있습니다. 후드 플레 넘 (hood plenum) 은 사용자가 필요에 따라 온도를 조정할 수 있도록 설계되었습니다. 컨베이어 구동 캐리어 (Conveyor-Driven Carrier) 는 노출 헤드에 웨이퍼와 이미지 플레이트를 부드럽고 안정적으로 전달합니다. 두 개의 미니어처 카메라 (하향식 카메라, 다른 하나는 상향 방향) 를 장착하여 사용자에게 노출 시간 및 초점 판독값을 제공합니다. 마지막으로, 자동 셔터는 노출 중에 빛이 낭비되지 않도록 합니다. FUSION 200 PCU 는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하므로 노출 설정을 정확하고, 빠르고, 효율적으로 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 쇼트 레시피 (short-recipe) 모드를 통해 사용자는 개별 웨이퍼에 맞춘 노출 설정을 빠르게 프로그래밍 할 수 있습니다. 컴퓨터에는 "인터랙티브 터치 스크린 디스플레이 (Interactive Touch Screen Display)" 가 장착되어 있어 사용자가 적시에 노출 설정과 데이터에 액세스 할 수 있습니다. 또한 고정밀도 비전 (vision) 정렬을 통해 사용자가 이미지 플레이트를 정확하게 조정할 수 있으므로 뛰어난 정렬 및 결과를 얻을 수 있습니다. AXCELIS 200PCU 는 다양한 안전 기능을 제공하며, 특히 인력과 장비를 모두 보호하도록 설계되었습니다. 우발적 인 빛에 노출되는 것을 방지하는 안전 조명 커튼이 특징입니다. 또 후드 플레넘 (hood plenum) 의 온도와 기체 수준을 자동으로 모니터링하는 자가 진단 장치 (self-diagnostic device) 도 있어 잠재적인 안전 문제를 감지합니다. 또한, 이 도구에는 긴급 상황 (Emergency Stop) 버튼이 포함되어 있어 긴급 상황에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 200PCU (200PCU) 는 신뢰할 수 있고, 견고하며, 다용도 노출 자산으로, 사용자에게 정확한 제어 및 고품질 결과를 제공합니다. 그 설계 는 여러 종류 의 "반도체 칩 '을 신속 하고 일관성 있게 생산 하는 데 이상적 이다. 사용자에게 친숙한 인터페이스와 향상된 안전 기능 (Safety Features) 을 통해 사용자는 노출 설정을 빠르고 안전하게 프로그래밍하고 고품질 이미지를 생성할 수 있습니다.