판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235768

AXCELIS/FUSION 200 PCU는 FUSION Technologies에서 설계 한 최첨단 노출 장비로, 반도체 업계에서 사용되는 포토 마스크 제조에 사용됩니다. 이 시스템에는 강력한 소스 모듈 (Powerful Source Module) 이 장착되어 있어 높은 정확도, 반복성, 처리량 등 다양한 노출을 제공합니다. 소스 모듈에는 4 개의 UV 램프 (전원 수준 가변) 가 있어 다양한 포토마스크 (photomask) 에 적합한 노출을 선택할 수 있습니다. 4 개의 램프는 PEU (Power Extension Unit) 에 의해 지원되며, 이 램프는 장치 작동에 필요한 전력을 제공합니다. 이 기계 는 "마스크 '를 한 번 에 최대 12 개 까지 수용 할 수 있는 커다란" 마스크' 로 설계 되었다. 이 모듈에는 wafer-handling 툴이 내장되어 있어 Windows 및 Support Plate 간에 Wafer 및 마스크를 쉽게 전송할 수 있습니다. 에셋에는 디지털 카메라가 장착되어 있어 "렌즈와 조리개 (aperture) '의 이미지를 정확하게 기록하고 표시할 수 있다. 이 모델에는 외부 공기 냉각 장비 (air cooling equipment) 가 있으며, 시스템이 작동 중일 때 일정한 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. FUSION 200 PCU에는 완전 자동 설치 및 제어 소프트웨어가 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 사용자가 전체 장치를 효율적으로 실행하고 제어할 수 있습니다. 소프트웨어는 사용자가 원하는 포토마스크 (photomask) 요구 사항에 맞게 사용할 수 있는 강력한 레시피를 제공합니다. 이것 은 기계 를 사용 하는 데 걸리는 시간 을 줄이는 데 도움 이 되며, "포토마스크 '가 정확 하고 일관성 을 유지 하는 데 도움 이 된다. AXCELIS 200PCU에는 1350mm의 X 여행과 1800mm의 Y 여행을 제공하는 높은 정확도 XY 축 스테이지가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 마스크 테이블 위의 마스크를 효율적으로 이동할 수 있습니다. 이 도구에는 마스크 디테일링의 정확성을 높이기 위해 최대 6 개의 포인트 (point) 에 초점을 맞출 수있는 멀티 포인트 포커스 (multi-point focus) 가 장착되어 있습니다. AXCELIS/FUSION 200PCU는 National Electric Code 및 CE 마크 요구 사항을 충족하기 때문에 높은 수준의 안전성을 제공합니다. 또한, 자산은 엄격한 환경 규정을 준수하여 포토 마스크 (photomask) 를 산업 응용 분야에 안전하게 사용할 수 있도록 합니다. FUSION 200PCU는 반도체 산업에 적합한 매우 기능적이고 안정적인 노출 모델입니다. 종합적인 기능 세트와 고도의 정밀도, 정확도, 신뢰성 (안정성) 을 통해 모든 photomask 제조업체에게 탁월한 선택이 가능합니다.