판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9229801
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판매
ID: 9229801
웨이퍼 크기: 8"
Photo stabilizer, 8"
Configured for 6"
UV Bake process
Irradiator contains Hg high intensity lamp
2.45 GHz Magnetrons for UV radiation generation
Cassette to cassette operation
Microprocessor controlled
Pneumatic controlled uplift for irradiator
UV Port housing
Operations manual and documentation.
AXCELIS/FUSION 200 PCU는 집적 회로 및 기타 전자 부품과 같은 반도체 장치 제조에 사용되는 노출 장비입니다. 이 제품은 매우 자동화되고 효율적인 장비로, 컴퓨터 제어 컴포넌트 (computer-controlled component) 의 통합된 시스템으로, 포토리토그래피 (photolithography) 의 목적으로 광범위한 매개변수를 정밀 제어할 수 있습니다. FUSION 200 PCU에는 전원 공급 장치와 컨트롤러가 모두 포함되어 있습니다. 전원 공급 장치 (power supply) 는 조명 장치를 구동하는 데 필요한 전압과 전류를 제공하는 반면, 컨트롤러 (controller) 는 노출 시스템의 다양한 매개변수를 조정하는 데 필요한 논리 및 제어 (logic and control) 를 제공합니다. 전원 공급 장치 (Power Supply) 와 컨트롤러 (Controller) 는 모두 작동에 매우 효율적이도록 설계되어, 소비되는 에너지의 양을 줄이고, 공구의 잠재력을 최대화합니다. AXCELIS 200PCU (AXCELIS 200PCU: AXCELIS 200PCU: AXCELIS 200PCU) 에는 Wafer 또는 기판 표면에 이미지를 정확하게 집중할 수 있는 여러 광 요소도 포함되어 있습니다. 이러 한 요소 들 가운데 는 "셔터 '," 레이저', "렌즈 ', 빛 을" 웨이퍼' 혹은 기판 의 표면 으로 인도 하는 두 개 의 "빔 스플리터 '가 있다. 이 모든 요소들의 결합된 효과는 고화질 집적회로 (High-Definition Integrated Circuit) 제조에 중요한 매우 높은 이미지 대비를 가능하게 합니다. FUSION 200PCU의 추가 구성 요소에는 컨트롤러의 시각적 피드백을 제공하는 고해상도 디스플레이 (High-Resolution Display) 와 보정, 이미지 캡처 기능 등 다양한 자동 기능이 포함되어 있습니다. 또한 FUSION 200 은 각 제조업체의 요구 사항에 맞게 노출 자산을 사용자 정의할 수 있는 다양한 옵션을 제공합니다 (영문). 결론적으로, 200 PCU는 매우 효율적이고 정확한 노출 모델로, 현대 반도체 소자와 사진 (photolithography) 응용 프로그램 제조에 적합합니다. 이 제품은 전력 효율성, 매우 정확한 광학 요소, 다양한 제어 옵션 등 이상적인 솔루션이 되는 다양한 기능을 제공합니다 (영문). AXCELIS 200 PCU 는 많은 제조업체에게 매우 경제적이고 안정적인 선택입니다.
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