판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9182824

AXCELIS/FUSION 200 PCU 는 반도체 업계의 광범위한 애플리케이션에서 디바이스 개발 및 생산을 촉진하기 위한 첨단 (Advanced) 노출 장비입니다. 이 시스템은 X 선 발전기, 이미징 카메라, 탐지기 세트, 데이터 획득 전자 제품, 기타 여러 하위 구성 요소로 구성됩니다. X 선 발전기 (X-ray generator) 는 노출 될 물질쪽으로 향하는 고에너지 전자의 빔을 생성합니다. 이어서, 일렉트론 빔 (electron beam) 은 일련의 리소그래피 마스크 (lithography mask) 를 통해 라우팅되며, 각각은 기판 재료에 각인 될 특징 패턴을 포함한다. 이미징 카메라는 결과 노출 된 패턴을 캡처하여 디지털 이미지로 저장합니다. 감지기는 조명된 재료의 노출 수준을 측정하는 반면, 데이터 획득 전자 제품 (Data Acquisition Electronics) 은 이러한 수준을 기록하고 메모리에 저장합니다. 그런 다음, 장치 (unit) 에서 이 데이터를 사용하여 노출 설정을 최적화하거나 프로세스 매개변수를 제어하는 데 사용할 수 있는 노출 프로파일을 생성합니다. FUSION 200 PCU (FUSION 200 PCU) 는 다양한 프로세스 매개변수를 지원할 수 있으므로 높은 수준의 노출 제어 (Exposure Control) 기능을 통해 매우 상세한 이미지를 생성할 수 있습니다. 이 기계 는 여러 가지 기판 과 재료 를 여러 번 노출 시키는 데 사용 될 수 있는데, 그 로 인해 설계자 들 은 여러 가지 특징 크기 의 "패턴 '을 만들어 낼 수 있다. 이렇게 하면 기판 에 조그만 섬세 한 특징 들 (예: 접촉 창문) 을 생산 하는 데 도움 이 될 수 있다. 이 도구에는 또한 다양한 안전 기능 (예: 자동 노출 제한 모니터링) 이 있으며, 이는 근로자와 환경을 보호할 수 있습니다. 또한, 자산은 이더넷을 지원하는 디지털 통신을 통해 원격 액세스를 허용하고 다른 시스템과의 통합을 지원합니다. AXCELIS 200PCU (AXCELIS 200PCU) 는 안정적이고 효율성이 높은 노출 모델로, 다양한 산업 및 학술 환경에서 높은 정확도의 리소그래피 애플리케이션에 적합합니다. 강력한 이미징 카메라와 다양한 매개변수 (parameter) 를 갖춘 이 장비는 다양한 장치를 연구, 개발, 생산할 수 있는 훌륭한 도구를 제공합니다.